中古 CANON FPA 6000 ES6a #9210238 を販売中
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ID: 9210238
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Fine pattern aligner, 12"
KrF Scanner: 248nm
Notch wafer
LCP Wafer chuck
Auto feeder: L Type, Type X
Loading config: Left hand loader
Coater / Developer: LITHIUS Type
Inline direction: L Type
L-Type wafer thermal controller plate (WTC), 12"
R Type open cassette, 12"
CANON Standard booth unit
Reticle changer
Reticle SMIF changer unit
Reticle barcode reader, 6"
Pellicle particle checker, 6"
Gigaphoton G41K3-1H excimer laser
RH Type delivery optics
Front side only e-Console kit
Signal tower: (3) Colors type
Power: 200 AC, 3 Phase
2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6aは、半導体製造およびフォトリソグラフィ用途で使用される洗練されたウェハステッパーです。このハイエンドマシンは、シンプルなリニアインデックス、超高速ローダイプロセス、および低摩耗インデックスを備えています。ステッパーは、直径3〜12インチの幅広いウェーハを使用でき、2mm〜10mmの厚さに対応できます。CANON FPA 6000ES6Aは、レーザダイオードスキャン技術を使用してパターンや立体形状をウェハ表面に正確に転送する高精度な光学アセンブリです。このデバイスは、最大1ミクロンの精度でピースを配置して整列させることができるため、非常に詳細で複雑な設計を作成するのに理想的です。FPA-6000ES6Aには、2段階検査装置、2次元ウェーハアライメント技術など、さまざまな高度な機能とプロセスが含まれています。さらに、高度な離散化技術により、マシンは毎回指定された位置に正確かつ正確にジオメトリを配置することができます。CANON FPA 6000 ES 6 Aは、高速ウェハハンドリングシステムを搭載し、ウェハーの迅速な積み降ろしを可能にし、サイクル時間を短縮し、生産性を向上させます。さらに、このユニットにはいくつかの高度な乾燥技術が組み込まれており、露出した領域を不均一な湿潤やその他の汚染物質から保護しています。CANON FPA-6000ES6Aは、粉塵、破片、その他の環境要因から内部部品を保護するために、特殊で耐久性のある材料で構成されています。ユニット全体が簡単なアクセスとメンテナンスのために設計されており、長期使用に最適です。最先端の機能に加えて、FPA 6000ES6Aは、さまざまなソフトウェアパッケージと統合された包括的なユーザーインターフェイスを備えており、便利でリアルタイムの機械性能監視を可能にします。さらに、直感的なソフトウェアにより、ユーザーはツールを特定のニーズに迅速かつ簡単に適応することができます。全体的に、FPA 6000 ES6aは、高度な機能と直感的なユーザーインターフェイスを誇る、印象的なウェーハステッパーです。その精度、精度、堅牢な設計により、多様なフォトリソグラフィおよび半導体製造アプリケーションに最適です。
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