中古 CANON FPA 6000 ES6a #9198402 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、マイクロサーキット、フォトマスク、その他の関連製品の製造に使用されるウェハステッパーです。広い視野（77mm x 78mm）を利用してデバイスを正確に画像化し、ピンホール検査用に0。45umの高解像度を実現しています。この装置は両面パターニングと両面アライメントが可能で、多層デバイスを効率的に製造することができます。CANON FPA 6000ES6Aは、ポイントアライメントとフリーアライメント補正を組み合わせた包括的なオーバーレイ精度を備えています。さらに、画像の強化を最適化するために波長スキャンが設計されています。FPA-6000ES6Aで使用されるレンズは、優れたコントラストと最小限のフレアを備えたシャープなイメージングフィールドを提供することで、最高の性能を提供するように設計されています。さらに、広範囲の波長をカバーし、多様なデバイスのニーズを満たすことができます。ES6aは、印象的な180wspmの最大スループットのために設計されています。ピント合わせやパターン位置決めセンサーを内蔵し、高解像度デジタルグラフィックスディスプレイを搭載したマイクロミラー装置を搭載し、最適なプロセス制御を可能にしFPA-6000ES6A。FPA 6000 ES6aは、従来の二重反射ミラーシステムに代わる費用対効果の高いものを提供するように設計されています。静電気100kHzスキャンミラーを搭載し、振動を低減してスループットを向上させ、ダウンタイムを低減します。さらに、ES6aにはレンズキャップアライメント機能があり、頻繁な最適化の必要性を減らし、調整サイクルを短縮するように設計されています。CANON FPA 6000 ES 6 Aは、高感度フォトマスクとウェーハのアライメントシステムも備えています。アライメントシステムが提供する主な利点は、ターゲット位置から位置への高精度な移動をサブアングル精度で保証することです。さらに、ウェーハステッパーは、最小限のフレアを確保するために、高精度の視覚制御のためにインポートされたモノクロモニターを実装しています。全体として、FPA 6000 ES 6 Aは高度で効率的で信頼性の高いウェーハステッパーです。その広い視野、印象的な解像度、オーバーレイ精度、および幅広い機能により、マイクロサーキット、フォトマスクおよび関連アイテムの高精度製造に最適なソリューションです。