中古 CANON FPA 6000 ES6a #9193101 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、高精度、優れたアライメント、安定した動作を必要とするデバイス製造プロセス向けに設計されたウェハステッパーです。生産スループットを向上させ、ウェーハ損失を最小限に抑える高度なツールです。CANON FPA 6000ES6Aの性能は、高いNA投影レンズを組み合わせた優れた光学機器と、非常に正確なオーバーレイアライメントのための4つのセンサーウェーハアライメントシステムに基づいています。高NA投影レンズはNA 0。75で、1。5 µmの優れた解像度を提供します。これと4つのセンサーは、非常に正確で正確なアライメントを支援します。内部ウェーハハンドリングモジュールは、より高い精度を提供し、最大2 ±の精度でµmウェーハ上の分離された露出を効果的に達成し、より小さなコンポーネントを生成します。さらに、ステッパーにはユニークなウェーハチャック設計が施されており、従来のウェーハステッパーよりもウェーハを抽出する回数が少ないため、粒子汚染の機会が少なくなります。FPA-6000ES6Aは、優れた加工速度と精度を提供します。ウェーハ全体で最大12秒/層の露出速度を提供します。さらに、そのイメージングの均一性は例外的であり、ウェーハ上の各チップの信頼性の高いアライメントを可能にします。ユーザーフレンドリーなDSC1000ユニットは、FPA 6000 ES6aの中心にあり、ユーザーはすべての機能に簡単にアクセスできます。このマシンは、ユーザーに各層の包括的なデータセットを提供し、プロセスプロファイルに対する結果の分析と一貫した最適化を実行できます。また、CANON FPA-6000ES6Aには、オートフォーカスやウェーハ治具認識など、さまざまなユーザーフレンドリーな機能があります。これらの実用的な機能は、セットアップ時間と手動操作の数を最小限に抑えます。さらに、自動ジグローダーにより、ウェーハチャックに複数のウェーハジグを中断することなく配置することができ、ウェーハがすぐに生産できるようになります。最後に、CANON FPA 6000 ES 6 Aは長期的な信頼性のために構築されています。ウェーハ破損検知ツールや防塵センサーなど、信頼性の高い動作を確保するための重要な安全コンポーネントを多数備えています。FPA 6000 ES 6 Aは、デバイス製造プロセスにおける精密リソグラフィに最適です。その機能の組み合わせは、商業レベルの生産と開発のための信頼できるソリューションになります。