中古 CANON FPA 6000 ES6 #9308445 を販売中

CANON FPA 6000 ES6は、高精度のマイクロ電気機械システム（MEMS）および集積回路（IC）の製造用に設計された最先端のウェハステッパーです。高度な光学技術と画像処理技術を備え、高い製造歩留まりを保証します。このマシンには2つのユニークなレンズが装備されており、優れたアライメント精度と非常に高解像度のイメージング機能を備えています。CANON FPA-6000 ES6は、6段階の光学リソグラフィープロセスを使用して、ウェーハ上に非常に正確なパターンを作成します。最初の4つのステップは、ウェーハを光学マスクに正確に整列させることに焦点を当て、最後の2つのステップはスキャンレーザーを使用してウェーハの最終パターンを作成します。この機械は0。1 um（ミクロン）の最低の特徴サイズで精密な特徴を作成できます。FPA 6000 ES6はまた、タイトなウェーハの位置決めとアライメントを確保するために、高精度のウェーハステージを備えています。48ビットのスキャンが可能で、新しいフォーカスサーボ装置を備えています。これにより、非常に正確なアライメントが可能になり、より細かいプロセスウィンドウが得られます。また、新たに開発した信号処理・処理システムを活用し、スループットとデータ転送を向上させています。FPA-6000 ES6では、さまざまなオートメーションオプションを利用して操作を強化することもできます。これらのオプションには、完全に自動化されたウェーハローディングユニット、完全に自動化された欠陥検査機、自動露出ツール、および自動ウェーハフラット検査が含まれます。また、CANON FDS 4ウェハハンドリングアセットとの連携も可能です。このモデルは、ステッパーとハンドラの間で自動的にウェーハを交換し、生産性を向上させます。CANON FPA 6000 ES6は、高品質のMEMSおよびIC製品を高精度で提供するために構築された強力なウェーハステッパーです。高度な光学、画像処理、アライメント機能を活用することで、高い製造歩留まりを確保することができます。豊富なオートメーションオプションにより、キヤノンのFPA-6000 ES6を微調整することで、一貫して優れた結果を提供し、最も要求の厳しいアプリケーションの要求を満たすことができます。