中古 CANON FPA 6000 ES6 #9235775 を販売中

CANON FPA 6000 ES6は、高度なパッケージングアプリケーションをサポートするように設計されたウェーハステッパーです。キヤノンFPA-6000 ES6は、最適なパフォーマンスを実現するために設計された幅広い機能を提供します。Opto-Bedsteerableアライメント技術を搭載しているため、不確実性とトレーサビリティが低く、微細化が可能です。これは、露光位置を0。1ミクロンまで簡単に調整できる新開発の高度なガルバノメーターミラーシステムによって可能になり、露光レベルが高い場合でも精度と精度が向上します。FPA 6000 ES6は、高度なPMLE （Precision Multi-Layer Exposure）と高い伝送スペースを備えています。これにより、ステッパーは高解像度を保持し、最大3ミクロンの層対層登録で均一になります。これには、高速な線幅マッピングと3Dデバイス製造のための均質なプロセスが付属しており、同じレイヤー内でより高い精度とスループットを実現します。FPA-6000 ES6には、いくつかの高度なオートメーション機能が装備されています。これには、1X、 5X、および10X目標を操作できるオートフォーカスシステムが含まれており、画像、パターン、およびウェーハ位置を手動または自動でキャリブレーションできます。また、高密度めっき（HDP）プロセスも可能で、処理時間を最大40％短縮できます。また、8インチから12インチまでのさまざまなウエハサイズにも対応しています。これは、洗練されたスタッキングやその他のデザインに十分な大きさの次世代のウェーハ技術の生産を暴露します。また、高精度なCANON FPA 6000 ES6は、高性能スループットを実現するように設計されています。これは、精度と精度を損なうことなく、ステージ速度を最大2。8インチ/秒にすることによって行われます。また、0。3ミクロンのアライメント精度を有し、アライメント不良による非生産性を低減します。CCDタイプのアライメントにより、測定時間を短縮しながら9。6mmの広い範囲で測定することができます。最後に、CANON FPA-6000 ES6には、書き込みデータをバックアップし、アライメントと露出プロセスがチップ設計に正確にマッチしていることを確認するための連動メモリ制御が装備されています。また、アライメントエラーピーク検出機能を備えたダブルトラッキングシステムも備えています。これは、プロセス全体にわたって正確に安定したウェーハの動きを保証するために、層状で正確な緯度を提供します。