中古 CANON FPA 6000 ES6 #9217736 を販売中
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販売された
ID: 9217736
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
KRF Scanner, 12"
Main (PO Module)
WS Module
RS Module
PSR
WS Chuck
Laser beam
GIGA Laser
CPSU Unit
N2 Purge
Control box
Cover panel
Wafer type: Notch
Altitude: 59 m
Wafer feeder: Right
No inline unit
No wafer temperature adjustment plate
TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Coater / Developer
Wafer chuck, 12" LCP
Orientation flat position: Standard
Carrier unit, 12"
Booth unit: SMIF
Reticle changer: SMIF
No laser delivery optics
Excimer laser: GIGAPHOTON G41K3-1
Laser power cable unit: 20 m
Front and rear console: Cover kit
Right and left console: Attachment kit
No connector cover unit
MO Driver: Left / Right
CPSU Cable: 15 m
C-Rack power cable: 15 m
C-Rack signal cable: 15 m
No reticle cassette
No signal tower
Absolute intensity meter
No additional library
Reticle bar code reader, 6"
No cassette bar code reader
No pellicle particle checker
High-precision N° turn pa parts
No 440 test reticle
Test reticle: 756
Additional built-in console
No F47 kit
No power cable unit
No exhaust unit
Exhaust duct unit: 5 m
Axi SiA input lens
Axi zoom SiB2 input lens
Maintenance tool
No mass flow chemical filter
PO Module: WS Mount unit
Scan OPTF5+
ULEX 06S
OAS3B
Wafer interferometer
Chuck maintenance unit
Reticle interferometer
EX-A Scope
FG Unit
Illuminator
Stage reference mark
2nd Stage reference: Mark left and right
Illumination uniformity checker
Chamber
Upper control rack
Lower control rack
ALS12
Type 10 wafer feeder: PA / SH / RH
Type 10 wafer feeder: SCH / INL
Ground underground common unit
Incoherent
Manuals included
Front / Side console:
Touch screen
USB Port
Keyboard
Mouse
RS Module:
Illumination system
ZYGO 7714 R / S Side laser head
RA Main body
PRA
Reticle scan stage
PCB
PO Module:
U-Lens
OAS (OA Scope)
Scan OPTF Unit
ZYGO 7714 W / S Side laser head
Chuck maintenance unit
WS Module:
Wafer chuck type: Pin
Wafer stage
Booth 1:
J-Box left / Right
EWS
Booth 2:
Auto feeder:
Inline relay: FOUP Unit
Inline unit: WTC
Open cassette
SCH Robot
Auto feeder-PSR:
PA Unit
RCV Station
SH Hand
RH Hand
Reticle changer:
R / C Type, 6"
Cassette type: SMIF
SMIF POD
RTH Robot
Reticle stocker
Reticle stage
Barcode reader
PPC
CE Marked
Power supply: 208 V, 60 Hz
2004 vintage.
CANON FPA 6000 ES6は、フォトリソグラフィに使用される高精度ウエハステッパーです。半導体業界の高度なUVリソグラフィ用途向けに設計された反射スキャナです。CANON FPA-6000 ES6は、最大0。65までのNA （Numerical Aperture）を備えた0。3 µmの機能サイズを提供し、28nm以下のハイエンドプロセスノードに適しています。ステッパーは最大8インチのウェーハを扱うことができ、露出画像を2。7秒という短い時間で書き込むことができます。電界放射熱源を内蔵し、低消費電力で安定した温度制御が可能で、所有コストを削減できます。ステッパーは高度な自動アライメント装置を備えており、高いレベルのオーバーレイ精度と精度を可能にします。オートアライメントシステムは、光源と画像撮影機を使用した2段ユニットで構成されています。FPA 6000 ES6には、高出力の制御アルゴリズムと高度な光学系を組み合わせた強力なリソグラフィ制御ツールが付属しており、高度な露出制御機能を可能にします。制御アセットには自動調整とフィードバック機能も含まれており、イメージングパラメータを最適化してリソグラフィの安定性と精度を向上させます。ステッパーは、不十分に整列したマスク機能で露出パラメータを検出して自動的に調整することもでき、費用を削減できます。FPA-6000 ES6には、グラフィカルユーザーインターフェイスやタッチスクリーンコントロールパネルなど、他のユーザーフレンドリーな機能が搭載されています。ステッパーはまた、長寿命の光学アライメントウィンドウコート、6軸モーションコントロールモデル、高精度オプティクス、および生産ラインへのシームレスな統合のための統合された機械制御を備えています。CANON FPA 6000 ES6は、最先端かつユーザーフレンドリーなウェーハステッパーの1つです。精度と精度を必要とする高性能リソグラフィ用途に最適なソリューションです。
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