中古 CANON FPA 6000 ES6 #9210240 を販売中

CANON FPA 6000 ES6ウェーハステッパーは、高度な技術を使用して、複雑な材料や構造を含む幅広い基板を正確に検査、検査、処理できる精密光学イメージングツールです。これにより、半導体製造、研究、開発に最適なツールとなります。CANON FPA-6000 ES6は非常に精度が高く、視野あたりの高速撮影速度は最大1。2秒です。6個の個々の露出ヘッドには、基板露出の柔軟性を可能にするさまざまなレンズとベベル光学系が含まれているため、プロセスの成熟および欠陥検査に最適です。このウェーハステッパーは、最大175X回の露光スピードアップを実現するハイダイナミックスピードイメージングモードにより、大幅なイメージング加速を実現します。また、優れた画像処理のための可視光と見えない光の両方を含む、紫外線から赤外線までの波長を特徴とする広いスペクトル照明源を備えています。これにより、高解像度とコントラスト測定が可能となり、様々な用途に最適です。FPA 6000 ES6は、ウェーハの自動処理とプリアライメントシステムを備えた人間工学に基づいた環境も提供します。これにより、ユーザーはステッピングチャンバーにウェーハを素早く正確に移動させ、プロセスをさらに合理化することができます。これは、ハイスループット作業に特に役立ちます。また、この装置は高効率であり、従来のイメージングシステムよりも90％少ないエネルギーを消費する低エネルギー照明システムを誇っています。これは、温度を常に最適な範囲内に保つ強化された冷却ユニットと組み合わされています。これは、マシンの寿命を延ばし、コストを削減するのに役立ちます。最後に、FPA-6000 ES6は、最高のパフォーマンスと効率を保証するように設計されたさまざまな高度な機能を提供します。オートキャリブレーションツール、マニュアルフォーカス調整を排除するオートフォーカス資産、画像の一貫性とコントラストを高める特許取得済みの低密度粒子ビーム（LDPB）などがあります。これらの機能はすべて、モデル全体の信頼性と生産性に貢献します。