中古 CANON FPA 6000 ES6 #9194861 を販売中

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CANON FPA 6000 ES6
販売された
ID: 9194861
KrF Scanner 248nm.
キヤノンFPA 6000 ES6は、キヤノンが製造する最先端の精密ウェーハステッパーです。このモデルは、幅広い用途で正確、正確、再現可能な結果を必要とするさまざまな科学的および産業的プロセスで使用するように設計されています。CANON FPA-6000 ES6は、レーザースキャンとトラッキングが可能なオートフォーカスを内蔵し、高精度なフォーカシングステージを備えています。これにより、ステッパーのアライメント、測定、再現性、精度が要求されるアプリケーションでの使用が可能になります。さらに、ES6は12インチから8インチのウェーハを扱うことができるように設計され、1つまたは2つの精密マスクが装備されていました。FPA 6000 ES6は、ウェハスキャン中の欠陥や欠陥を正確に検出および処理するために、さまざまな最先端の光学および照明システムを備えています。これらのシステムにより、異なるプロトコルを確実に使用することができ、ウェーハステッパープロセス中に速度、精度、精度を向上させることができます。その印象的な光学系と照明システムに加えて、ES6はまた、高度なイメージングシステムを持っています。このユニットは、最大5 umの解像度を生成することができますが、最大6,000フィールド/秒の高分割率を維持します。これは、自動露出調整とラインおよびエリア測定機能を組み合わせて、さまざまな要求の厳しいプロセスに適合性をさらに高めます。これらの機能の結果として、FPA-6000 ES6は、高精度と一貫性を必要とするさまざまな要求の厳しい科学および産業プロセスに最適です。これには、フォトマスクのアライメントと印刷、半導体ウェハレベルの製造、さまざまな組込み構造の検査が含まれます。ES6には完全に統合されたソフトウェアスイートが装備されているため、さまざまな複雑なプロセスを簡単に確実に完了できます。
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