中古 CANON FPA 6000 ES6 #293818349 を販売中

CANON FPA 6000 ES6
ID: 293818349
Krypton Fluoride (KrF) scanner.
CANON FPA 6000 ES6は、最先端の半導体製造タスクを処理するために設計されたハイエンドウェーハステッパーです。CANON FPA-6000 ES6は、4つの顕微鏡を使用し、0。6マイクロメートルの解像度で正確なアライメントと正確なイメージングを提供する最先端の光学機器を備えています。さらに、ES6にはレーザーアライメントシステムが装備されており、より厳格な配置とアライメントが可能です。ES6には自動化された座標測定システムがあり、すべてのジョブの進捗状況を簡単に監視できます。これにより、すべての半導体で最高レベルの精度が達成されます。FPA 6000 ES6は4軸設計で、最も多様なウエハ加工作業に適しています。デュアルステージスキャナーヘッドは、単一のウェーハ表面に複数の露出を正確に配置して作成することができ、製品の可能性を広げることができます。FPA-6000 ES6また、より大きな視野を備えており、イメージングと柔軟性を向上させます。これにより、より複雑なフォトマスクの高解像度要素を生成し、デュアルサイドリソグラフィの複雑さを軽減することができます。ユニットには高度なユーザーインターフェイスも装備されており、すべてのマシンの機能を直感的に制御できます。FPA 6000には、ヒューマンエラーの可能性を低減する誤り訂正機が内蔵されています。最後に、CANON FPA 6000 ES 6は、メンテナンスが容易で、サービスのダウンタイムと最大稼働時間が短縮されます。ステッパーは、銀行を壊すことなく、簡単に半導体生産プロセスに統合できるほど手頃な価格です。
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