中古 CANON FPA 6000 ES6 #293818347 を販売中

CANON FPA 6000 ES6
ID: 293818347
Krypton Fluoride (KrF) scanner Exposure wavelength: 248nm.
CANON FPA 6000 ES6は、パワフルで精密なエンジニアリングを特徴とする最先端のウェーハステッパーです。高度なオートメーション機能を備えており、より高速で正確なウェーハ処理を可能にします。キヤノンFPA-6000 ES6は、精度と再現性が不可欠な効率的な生産環境に適しています。FPA 6000 ES6ウェハステッパーは、最大分解能0。9ミクロンの高荷電粒子光学装置(CPOS)を備えています。このシステムは、非常に正確で反復可能なパターン結果を提供するように設計されています。また、偏光回折光学ユニットを内蔵しており、焦点安定性を向上させ、パターンの配置ミスを低減します。このマシンには4つの独立した適応ステージポジショナがあり、複数の露出の正確な分解能を提供します。さらに、FPA-6000 ES6は高度な光学技術とオートメーション技術を組み込み、プロセススループットを最大化しています。シングルステップ露光方式により高速ダウンロードが可能で、スループットに優れています。複数の電極の組み合わせをサポートし、さまざまなパターン形状を生成します。さらに、モジュラー設計により柔軟性と拡張性が向上し、さまざまなエンドユーザー要件に対応できます。CANON FPA 6000 ES6は、高精度オプティカルアライメント技術も搭載しています。これにより、露出ステージでのウェーハの正確な位置決めが保証されます。ステッパーにはインテリジェントなホワイトバランスと自動バックグラウンドコントロール(ABC)が装備されており、一貫性のある画質を維持します。ステッパーはまた、多層保護を使用してウェーハをほこりやミシャンドリングから保護するため、安全で効率的な操作のために設計されています。CANON FPA-6000 ES6ウェーハステッパーは、信頼性の高い高精度ウェーハ加工を必要とする製造企業にとって理想的な選択肢です。多様な生産環境で高い歩留まりを確保するための信頼性と効率性の高いツールです。高度な技術と精密エンジニアリングにより、ステッパーは生産効率を高めたい人に最適です。
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