中古 CANON FPA 6000 ES5 #9291039 を販売中

CANON FPA 6000 ES5は、最高級のウェーハステッパーです。これは、高度な半導体プロセスのための高度なリソグラフィ装置です。独自の革新的な光学設計により、ライン幅の粗さを低減し、優れたパターン忠実性を実現します。また、高性能、柔軟性、スループット、信頼性を備えており、今日の製造環境にとって重要です。FPA 6000 ES5ウェーハステッパーは、より短い波長光源を持つ露光技術に最適です。これは、エキシマー、F 2、 H 2+、アルゴン、YAGなどのさまざまなレーザー源をサポートすることを可能にする統合レーザマイクロミラースキャナーを備えています。このスキャナはレーザービームを150Hzの速さで動かすことができ、従来のウェーハステッパーの約5倍の速さで全体的なパターニング速度を提供します。さらに、このマシンのステージスピードと加速度は、8kHzのパルスレートを0。5gでサポートすることができます。キヤノンFPA 6000 ES5は、そのパフォーマンスを最大化するために、多くの洗練された技術を統合しています。これらには、ナノレベルの精度、高コントラスト、および0。5nmの公差を備えた高度な光学ツールが含まれており、サブリソグラフィ機能のパターン作成に不可欠です。また、大口径5〜2デマグニファイアタイプのレンズを採用し、ビームサイズが大きく、光強度ノイズを低減した大画面を実現しています。さらに、より高いスループットとライン幅の向上のために設定を自動的に編集する「スマート処理アセット」を提供します。FPA 6000 ES5は、先進的な半導体包装やIC設計など、さまざまな用途で使用できる最先端のウェハステッパーです。洗練された光学モデル、高速ステージ速度、強力なレーザーソースにより、ライン幅の粗さを低減し、パターンの忠実度を向上させます。さらに、その大きな画像処理フィールドと「スマート処理装置」は、光強度ノイズを最小限に抑え、スループットを最大化します。その結果、CANON FPA 6000 ES5は、先進的な半導体プロセスに最適です。