中古 CANON FPA 6000 ES5 #9253683 を販売中

CANON FPA 6000 ES5は、高度な半導体デバイス層の精密配置とパターニングを高精度で実現するキヤノン製ウェハステッパーです。半導体デバイス製造やデカ露光などのプロセスに最適な高度なリソグラフィ装置を内蔵しています。ステッパーは、アライメントと精密配置を改善するために二重露出を使用します。また、高温・可変ガス雰囲気など、さまざまな加工条件に対応できる選択可能な動作環境を備えています。FPA 6000 ES5は、効率的で正確なウェーハレベルのパターニングを可能にする高度な機能を備えています。これらの機能には、高度なレーザー干渉計システム、エアナイフユニット、および2µm内の平均配置精度を備えた高精度の温度制御レジスト開発機が含まれます。高解像度のオートフォーカスツールは、任意の位置に最適な露出プロセスを提供します。ステッパーには、高解像度パターニング機能を提供する6kピクセルアレイイメージセンシングユニットがあります。低ノイズシャッター機能を備えた高速オートシャッターも組み込まれており、アセットのスループットが向上します。ステッパーは最大解像度5ミクロンで、6インチと8インチのウェーハを処理することができます。CANON FPA 6000 ES5は、水蒸気含有量が低い低消費電力のために設計されています。その高度な環境制御モデルは、追加の冷却を必要とせずに、20°Cから30°Cまでのプロセス温度で効率的なパフォーマンスを可能にします。このマシンはまた、パターン分解能を厳密に調整するために露光緯度の正確な制御を提供します。ステッパーは、イーサネット、USB、 RS-232を含むさまざまな通信インタフェースで設計されており、デバッグやメンテナンス作業に最適です。さらに、統合された検査装置は、正確な配置とエラーの検出を保証します。また、FPA 6000 ES5は、クリーンなインターフェイス、校正時間の短縮、高度なモニタリング機能を備えた簡単なメンテナンスのために設計されています。