中古 CANON FPA 6000 ES5 #9227776 を販売中

CANON FPA 6000 ES5は、高度な光学部品と機械部品を使用して、正確で再現性のある結果を提供する高度で高精度なウェーハステッパーです。この装置は高度なステップとリピート統合システムであり、高い歩留まり率で正確で再現性のあるウェーハ処理を実現します。このユニットは、シングル、ダブル、および複数の露出を含むさまざまなリソグラフィープロセスに使用できます。ウェハステッパーは、フォトリソグラフィ、半導体、MEMS、回路基板加工など、さまざまなプロセスに使用できます。最先端の超精密スキャナとイメージングツールを中心に、高精度かつ高精度な光学部品を設計し、複雑なパターンでも加工することができます。このアセットには、モデルの迅速なセットアップを可能にし、テスト処理に必要な時間を短縮する特別な高設定精度機能が含まれており、通常の時間のほんの一部で高品質の結果を得ることができます。イメージング装置には、9つの露出ゲートを備えた4k x 4k CCDと、高精度で正確なスキャンパターンを提供する高速リニアモータが含まれています。このシステムは、プロセスの再現性と均一性を単一のスキャンで実現しているため、複数の露出を必要とせず、時間、労力、コストを節約できます。ユニットに含まれている制御ソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと統合層の管理、自動パターン最適化、ウェーハ検査などの機能の広範なリストを提供します。また、環境温度の変化によって発生するエラーを自動的に補償することもできます。これにより、困難な環境条件下でも一貫した結果が得られます。FPA 6000 ES5は、高精度と再現性を必要とする人、より小さな基板で作業する人、または大量のウェーハを迅速かつ簡単に処理する必要がある人に理想的なツールです。このモデルの高度なイメージングおよび光学アセットは、多くのウェーハ処理アプリケーションの厳しい要件を迅速かつ容易に満たす最終製品をユーザーに提供します。