中古 CANON FPA 6000 AS4 #293815444 を販売中

CANON FPA 6000 AS4は、半導体デバイスの製造に使用される高精度のリソグラフィを可能にするように設計された最先端のウェーハステッパーです。機械は優秀な正確さおよび均等性を提供するために特別な高解像度の4-kWレーザースキャナーが装備されています。このマシンは、複数の検出器を使用してスキャンラインの歪みを検出し、X軸とY軸のアライメントを調整する高速アライメント装置を備えています。デュアルCCDカメラは、サブピクセル精度と正確なオーバーレイアライメントを保証します。さらに、高度な拡張フィールドマッチングと自動フォーカストラッキングシステムを使用して、優れたプロセス制御を提供します。これらのシステムは、脆弱なウェーハ上の最も小さな構造でさえも正確なリソグラフィ画像を可能にします。さらに、オートシャッターユニットは、すべてのマスキングレベルの均一なスループットと均一でない露出を保証します。また、高精度スキャン用の長寿命スキャンエンコーダと特許技術で設計された極めて安定したウェーハハンドリングマシンを搭載しています。これらの機能により、ウェーハ表面のわずかなパターンでも優れた操作とアライメントが可能になります。高度なソフトウェアはまた、追加のプロセス制御とイメージングプロセスの微調整を提供します。また、CANON AMF-FT （Auto Matching Functional Free Topology）による優れたウェハボンディング機能も備えています。このユニークな機能は、マスキング歪みを最小限に抑え、非常に並列化されたアライメントを保証する優れたボンディングパラメータを提供します。FPA 6000 AS4は、今日入手可能な最高級のウェーハステッパーであり、比類のない精度と均一性を提供します。高度なプロセス制御、優れたスキャン、優れたウエハボンディング機能により、ハイエンド機器の生産に最適です。