中古 CANON FPA 6000 AS4 #293815419 を販売中

CANON FPA 6000 AS4は、小型フットプリントと大型光学レンズを提供するウェーハステッパーで、リソグラフィープロセスに最適です。このウェーハステッパーは、0.40NA最大150mmのレンズサイズで、先進的な光学系により半球面への露出が可能です。FPA 6000 AS4は、200mmのフィールドサイズと0。5ミクロンまでの最小レーザースポットサイズを備えています。キヤノン独自のリチクルアライメントシステムにより、精度向上やオーバーレイ制御の向上を実現するアクティブリチクルアライメント装置など、様々な機能・技術を搭載しています。CANON FPA 6000 AS4は、キヤノンの高度な曲面照明ユニットとエアロダイナミックフォーカスマシンを搭載し、露光時間を短縮します。このウェーハステッパーは、6つの独立した検出領域を備えた最大0。90の大きなセンサ数値開口を備えており、市場の他のウェーハステッパーよりも正確で強力です。さらに、FPA 6000 AS4には、露出およびスキャン形式の幅広い選択肢があります。これには、ラスターベースのバイナリ露出、フォトマスクスキャン、スリットスキャン、ラインスキャン、および各アプリケーションのフォーマットの選択が含まれます。さらに、CANON FPA 6000 AS4には、露光形状に基づいて照明パターンを調整する専用のオンザフライイルミネーションツールがあります。これにより、画像が最高の結果を得るために正確に均質化されます。FPA 6000 AS4が提供するすべての機能は、リソグラフィープロセスのさまざまなアプリケーションに最適です。