中古 CANON FPA 6000 AS4 #293753702 を販売中
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ID: 293753702
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
2003 vintage.
CANON FPA 6000 AS4は、フォトリソグラフィのイメージングプロセスを容易にするように設計された先進的なウェーハステッパーです。5。8 μ mの画像サイズ精度、1。6nmのオーバーレイ精度、および1時間あたり最大100ウェーハの高速イメージングプロセス速度を備えたこのマシンは、大量の高スループット半導体製造に適しています。高速かつ正確なステージ移動を実現する高精度・低負荷の6軸ロボットを搭載し、垂直振動補正設計により、1枚のウェハに複数のチップを印刷する際に最適な結果を得ることができます。また、高性能エキシマレーザー光源を搭載し、露光時間を最小限に抑えた高解像度画像を実現しています。これは機械を大量および高いスループットの生産のために適したようにします。FPA 6000 AS4は、信頼性の高い液晶ビームシェーピング装置を備えており、高精度のビーム偏向制御を提供します。これにより、高精度の機械加工が可能になり、潜在的なフォームエラーを低減できます。また、自動化されたフォーカス制御により、ステージや基板の条件に関係なく、印刷された画像を正確かつ迅速に作成できます。また、自動化されたアライメントシステムにより、印刷前のビーム位置を素早く調整し、印刷された画像の解像度と精度を向上させることができます。イメージング機能に加えて、高度なパターン編集ツールも提供しており、詳細な詳細な高度なパターンを設計することができます。さらに、パターン配置を正確に追跡することができ、ステージの位置に関係なく、印刷されたパターンが正確であるようにします。最後に、このマシンには堅牢なデータ管理マシンが装備されており、パラメータ、レシピ、測定結果など、さまざまなデータを保存する機能をユーザーに提供します。これにより、複数のウェーハを管理し、各ウェーハのライフサイクルを管理することが容易になります。要するに、CANON FPA 6000 AS4は、フォトリソグラフィープロセス用に高精度で高スループットイメージングを実現する高度なウェハステッパーです。高速なイメージングプロセス速度と信頼性の高い設計により、このマシンは、特に大量の製品を必要とするあらゆるフォトリソグラフィック環境に最適です。
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