中古 CANON FPA 6000 AS4 #293753688 を販売中
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タップしてズーム
ID: 293753688
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
CYMER Laser, currently non-functional
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4は、高度なリソグラフィー技術のために設計された最先端のウェーハステッパーです。この革新的なマシンは、高解像度のマスクを作成するために、複数の露出投影などの高度なリソグラフィ技術を利用しています。FPA 6000 AS4は、大面積で最大1。0 μ mのマイクロラインパターンを提供することができます。CANON FPA 6000 AS4は、最大ワーキングエリア6,000×6,000 μ m、 5段階ズーム装置を備え、ウェーハの正確な露出を可能にします。さらに、高性能の照明器、2次元スキャン、可変角度投影システムを備えており、収差と歪みを低減します。このマシンはまた、高度な光学素子を製造するための高スループット反射イメージングモードを備えています。FPA 6000 AS4には、高品質のマスク生産を保証するのに役立つ高度な機能がいくつかあります。露出前にマスクを正確に整列させるために、オートフォーカスとアンチコリメーションシステムを内蔵しています。さらに、高度なレーザーオプティクスにより、正確な高解像度マスクパターンが保証されます。CANON FPA 6000 AS4には、ウェハの均一な露出を可能にする自動露出レベリングユニットも内蔵しています。FPA 6000 AS4は、1時間あたり最大500ウェーハのスループットを備えており、利用可能な最速のウェーハステッパーの1つです。高速回転と2次元スキャンにより、多種多様なパターンを迅速かつ正確に作成できます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、プログラムと操作が簡単になります。キヤノンFPA 6000 AS4は、信頼性と耐久性に優れた機械です。汚れや摩耗を防ぐ剛性と防塵設計で構成されています。このマシンはまた、同様のクラスの他のウェーハステッパーと比較して低い故障率を持っています。さらに、内蔵のメンテナンスマシンは、マシンの問題を簡単にチェックして診断することができます。全体的に、FPA 6000 AS4は高精度のリソグラフィーマスク生産を提供する高度なウェーハステッパーです。その高度な機能セット、高スループット、信頼性、耐久性により、高度なリソグラフィ用途に最適です。
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