中古 CANON FPA 6000 AS4 #293752740 を販売中
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ID: 293752740
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Argon Fluoride (ArF) scanner, 8"
CYMER Laser
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
Non-functional parts:
CYMER Chamber (MO / PA)
Reticle changer robot arm
Reticle pre-align stage
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4は、航空画像投影および高精度アライメントを使用して超高スループットと非常に精密なフォトリソグラフィ結果を達成する高度な自動ウェーハステッパー装置です。マイクロプロセッサやICを含む半導体産業のフルレンジ生産用に設計されています。FPA 6000 AS4は、従来モデルと比較してスループットを向上させ、必要なスペースを削減する、非常にコンパクトなシステム構造を備えています。内蔵のAS4アライメントステッパーとパターンシミュレータは、高精度なアライメントを提供し、ウェーハのすべての領域でパターン位置とフォーカスを正確にアライメントできます。自動化されたステッパーは、高い精度でウェーハ全体のオフセットスポットを認識することができます。これにより、特に小型ピッチ集積回路では、ユニットの精度と全体的な歩留まりが向上します。キヤノンの最新CAPアクティベーションツールを搭載し、フォトリソグラフィープロセスのエネルギー消費を大幅に削減し、ダウンタイムを実現します。CAPアクティベーションは、露出前の時間を短縮するために特別に設計されており、スループットの高速化と生産能力の向上を可能にします。さらに、ウェーハの厚さ測定情報を利用して画像光学系を自動的に切り替える高度なタワーシフティングモデルを搭載しています。この装置により、CANON FPA 6000 AS4は、さまざまなウェハの厚さに対応し、イメージング機能と印刷品質を最適化することができます。FPA 6000 AS4には、スループットを最大化し、精度と信頼性を向上させるための追加機能も多数搭載されています。そのRC登録システムは、連続的に生成されたパターン間の高いレベルの登録を促進し、非常に高いパターンの再現性を確保します。さらに、ウェーハ位置センサやAFDセンサーなど、精密なモーションコントロール用のコントローラやセンサーを多数搭載しています。これにより、パターン化されたウェーハが不具合なく正しくイメージされるようになります。最後に、このマシンのユーザーフレンドリーなコントローラは、オペレータに完全に制御可能なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、セットアップと操作プロセスを簡素化します。また、CANON FPA 6000 AS4は様々なソフトウェアオプションを提供しており、パターンの種類、数、サイズ、解像度など様々なパラメータをカスタマイズすることができます。これにより、このツールはさまざまなフォトリソグラフィープロセスに適しており、生産中に最大限の制御と柔軟性を提供します。
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