中古 CANON FPA 6000 AS4 #293752739 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293752739
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
ArF Scanner, 8"
CYMER Laser
CYMER Chamber (MO/PA) non-functional
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
Stage leak
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4は、さまざまな業界のパターニングアプリケーションで使用するために設計されたウェーハステッパーです。大型のステッピングテーブルを備えており、基板ウェハの正確なアライメントが可能です。ステッパーには、ウェーハパターンを投影するための平坦で均一な平面を提供する高度なエアベアリングステージが含まれています。高性能な投影光学装置を採用し、リソグラフィックマスクを製作する際に高精度な画像解像度を実現します。FPA 6000 AS4のスキャンユニットは、ずれを軽減します。特許取得済みの「Sync-Scanning」機能により、マスクとウェーハ間のタイトな同期が保証され、優れた画像精度が得られます。さらに、キヤノンアドバンストデジタルフィルタ加工（DF）技術を搭載し、漏れを検知・軽減します。これにより、高度なオプトエレクトロニクス用途で最高品質のパターン精度を保証します。ステッパーには、最適なアライメントを迅速かつ正確に見つける自動アライメントシステムが装備されています。このユニットは、マスクが完全に整列し、生産時間とコストを節約するのに役立ちます。内蔵の測定機は、オーバーラップを検出し、より正確な結果を短時間で生成するのに役立ちます。CANON FPA 6000 AS4はメンテナンス性が低く、稼働時間の最大化に貢献します。ステッパーは1日24時間まで操作でき、生産を効率的かつスムーズに実行できる柔軟な運用プランナーが含まれています。不規則を検知してエラーを報告するAIツールなど、さまざまなメンテナンスツールが、スムーズな運用を実現します。FPA 6000 AS4には、さらに安全性を高めるために設計された一連の機能が含まれています。SafeModeは、事前に定義された時間枠でのみ生産が行われるようにし、運用上の安全性を高め、故障のリスクを排除します。最後に、ステッパーにはフィルター交換警告アセットが装備されています。全体的に、CANON FPA 6000 AS4は、パターニングアプリケーションに高精度と高精度を提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。エアベアリングステージ、高度な画像投影、Sync-Scanning、統合アライメント機器、低メンテナンス設計、安全機能を備えており、さまざまなアプリケーションで優れた結果を提供できます。
まだレビューはありません