中古 CANON FPA 5510 #293648529 を販売中

CANON FPA 5510ウェーハステッパーは、半導体製造プロセスで使用される光学駆動の高速リソグラフィーツールです。マルチアップウェーハ処理が可能で、リソグラフィ時にウェーハ上のパターン位置を正確にアライメントするための高解像度スキャナと高度な光学系を備えています。FPA 5510は、あらゆるタイプのワークで高性能で高精度なパターンを生成する最先端のウェーハステッパーです。その2軸の装置は、高精度、高精度、高スループットを提供し、複雑で複雑なミクロンスケールのフォトリソグラフィ作業用の完全なリソグラフィックソリューションを提供します。CANON FPA 5510の解像度は約0。005 umで、最大投影面積は640 x 480 mmです。1時間あたり80ウェーハのスループット速度で高スループットを実現します。そのアクセサリーには、正確なパターニングのためのFPA-FX2TVとFPA-FX7TVのレチクルの選択が含まれています。FPA 5510は完全に自動化されたユニットであり、マイクロプロセッサ制御のオペレーティングマシンを備えており、効率的で正確な動作を保証します。また、高精度で物体を検出・測定できるビジュアルツールを内蔵しています。コントローラには2D計測アセットが内蔵されており、ソフトウェアは堅牢な画像処理機能を備えています。さらに、6軸X-Y-Zワークのハンドリングモデルには、2つのシフトプレート、2つの回転、2つの傾斜角度が含まれています。CANON FPA 5510\sソフトウェアは、幅広いウエハファブオートメーションシステムと互換性があり、さまざまなプロセスシステムや機器とのインターフェースを可能にします。ソフトウェアは、機器が同時に複数のウェーハ上で処理することができ、そのシステム構成は、異なるリソグラフィ作業のニーズを満たすために簡単に調整することができます。FPA 5510は、非常に安定した振動のないコンパクトで軽量な設計で、ユーザーの環境との最大限の互換性を提供します。それに静電気放電および高い粒子のろ過定格、2つの空冷モーターおよび作り付けの安全特徴に対する作り付けの保護があります。CANON FPA 5510は高度なウェーハステッパーで、微細加工や高精度のリソグラフィープロジェクトに最適です。高解像度、高精度、スループット機能、高度な機能により、あらゆるウェーハ処理ニーズに最適です。