中古 CANON FPA 5510 iZ #293818352 を販売中

CANON FPA 5510 iZは、各種集積回路（IC）の製造に精密リソグラフィを提供するために設計されたウェハステッパーです。このデバイスは、0。82の高い数値開口（NA）、および充電を防止し、リソグラフィ欠陥を低減する過酷なアルカリベースのレジストコーティングなどの高度な機能の配列を利用しています。ステッパーは、高NAにより集中調節が容易になり、光透過性を向上させることができ、非常に高い精度で、0.33µm分解能までの回路を製造することができます。CANON FPA-5510IZは、空気汚染を最小限に抑え、ウェーハ表面への塵の侵入を低減する、コンパクトでノンシェッディング設計を採用しています。露出場は6。45インチ（164ミリメートル）で、0。04 µm以下の精密な配置精度で洗練された複雑なパターンをウェーハに投影することができます。特許取得済みの光学シフトシステムは、投影パターンが露出間で正確に整列したままになることを保証し、ステッパーの複雑なデバイス構造の正確な製造に貢献します。このシステムのアライメント精度は、リアルタイムで高速なオートフォーカス・システムによってサポートされているため、迅速かつ正確にウェーハ能力を習得することができます。ステッパーは、さまざまなパラメータや機能を簡単に視覚的に監視できるLCDディスプレイを備え、ユーザーフレンドリーに設計されています。FPA 5510 iZは、効果的なステッパー操作を提供する107W LampBoardを搭載しています。高周波EHX （HF）ドライブは、幅広い環境条件にわたって安定したアライメントとパターン精度を提供するように設計されています。ステッパーには独自のActiveX™画像補償技術も搭載されており、湿度や照明などの環境パラメータの変化に関係なく、柔軟性を提供し、パターンの完全性を保証します。FPA-5510IZは、高精度のハイエンド集積回路を生産することができる高性能ウェーハステッパーを表しています。そのノンシェッディング設計は、空気汚染を最小限に抑えるのに役立ちますが、その堅牢なさまざまな高度な機能は、幅広い産業環境での正確なパターン作成と信頼性の高いパフォーマンスに貢献します。