中古 CANON FPA 5510 iZ #293817795 を販売中
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ID: 293817795
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57
Resolution: 350 nm
DCO: 30
Throughput (WPH): 160.
CANON FPA 5510 iZは、高いスループットと柔軟なソリューションを求める半導体デバイスメーカー向けに特別に設計された洗練されたウェーハステッパーです。この高速ステッパーは、1K〜2Kの大型レチクルに液浸スキャン技術を使用して高い性能を発揮し、最大55nmのフィーチャーサイズを実現します。CANON FPA-5510IZの高度なイメージング機能には、高解像度のイメージング、高度なステッチ、高精度登録による正確な調整が含まれます。1時間あたり最大5,800ウェーハのスループットで、ステッパーはユーザーに優れた効率を提供できます。ステッパーのスキャン機能は、高出力ズームオプティクスシステム、統合されたインフォーカス測定、およびより高いスループットのためのフォトンシーブおよびマルチパルス技術によってさらに強化されています。FPA 5510 iZには、スキャンやレチクルなどの重要な情報を保存できる統合データストレージデバイスも付属しています。自動化されたクリーニングシステムは、デバイスが最適に動作し、レチクルがきれいに保たれるようにするのに役立ちます。ステッパーには、精度とトレーサビリティを確保するためのスマートサーフェスレチクルマッピング機能も装備されています。FPA-5510IZは、専用アプリケーションの設定を手動でオーバーライドできるようにも設計されています。デバイスのユーザーインターフェイスは適応可能であり、複数の言語をサポートすることができます。また、デバイスの操作を遠隔監視するためのインターフェイスリモートコントロール機能が付属しています。このウェハステッパーには、異常の兆候が発生した場合に自動的にスキャン機能を停止する安全機能も装備されています。CANON FPA 5510 iZは、露光システムなどの他のツールと簡単に統合して、ユーザー向けの包括的なソリューションを作成できます。キヤノンFPA-5510IZは、高いスループットと柔軟性を要求される半導体メーカーのニーズに応えるために設計された、効率的で信頼性の高いウェーハステッパーです。この堅牢な高速デバイスは、正確なイメージング機能と高度なオートメーション機能を備えており、ユーザーはよりスマートに作業し、より簡単に目的の結果を達成することができます。
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