中古 CANON FPA 5510 iZ #293654978 を販売中

CANON FPA 5510 iZは、研究用および生産用に設計されたウェーハステッパーです。高精度のアプリケーションに挑戦するための超精密高解像度イメージング機能を提供する高性能ステッパーです。装置は、その機能と操作に簡単にアクセスすることができますコンパクトで人間工学的な設計に収容されています。CANON FPA-5510IZは、他のほとんどのウェーハステッパーと比較して視野が広いため、幅広いウェーハイメージングに柔軟性を提供します。最大空間分解能0。02 μ m、最大作動距離290mm、最大0。5％の画像歪み検出機能を備えた自動機能認識ユニットです。ユーザーインターフェイスは、カラーLCDタッチパネルディスプレイとオートモード、バッチモード、マニュアルモードなどのさまざまな操作モードで、ユーザビリティを強化しています。さらに、FPA 5510 iZステッパーは、高速処理速度と幅広い機能を備えた高精度で信頼性の高い計測機を備えており、ウェーハパターンの設計とテストのエンジニアを支援します。イメージングには高解像度の12Mpix CCD技術と、ウェーハの正確なアライメントと位置決めのための多軸ステージを採用しています。ステッパーはまた、ソフトベーク、プリアライン、露出、開発など、幅広いリソグラフィーツールをサポートしています。FPA-5510IZは、高精度、信頼性、再現性を備えた優れたイメージング機能を必要とする製造および研究アプリケーションに最適です。その高精度、人間工学に基づいた設計と様々な機能により、さまざまな種類の研究および生産環境で使用することができ、正確で信頼性の高い結果を提供します。その優れたイメージング機能と耐久性のあるデザインは、ウェーハイメージングに人気のある理由のほんの一部です。