中古 CANON FPA 5510 iX #293636290 を販売中
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タップしてズーム
ID: 293636290
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
Stepper, 12"
Reticle size: 6"
Overlay accuracy: ≤ 50 nm
Resolution: ≤ 500 nm
Numerical aperture (NA): 0.28 - 0.37
Exposure area: 52 mm x 56 mm
2014 vintage.
CANON FPA 5510 iXは、半導体を製造するために設計されたウェハステッパーです。このマシンは大量生産用に設計されており、フォトリソグラフィ用の精密で高度に統合されたソリューションを提供します。CANON FPA-5510IXは、高効率な光源と高度な光学系を搭載し、製造工程の重要な部分である半導体ウェーハに正確に画像を転送します。最適化された光学機器を備えており、ミスアライメントを低減し、正確なイメージングを保証します。高度なオートフォーカス機能を搭載し、ウェーハ表面の小さなバリエーションを検出し、それに応じてフォーカスを正確に調整することができます。このユニットは、使用されているウェーハの種類とサイズに基づいてイメージングプロセスのパラメーターを調整できるソフトウェアによって駆動され、より迅速かつ正確なイメージングを可能にします。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ステッパーのパフォーマンスを簡単に操作および監視できます。この機械にはデジタルズーム機能が搭載されており、大規模な統合半導体設計のマイクロバックグラウンドの欠陥を軽減するのに最適です。また、高解像度設計に重要な可変線間隔もサポートしています。さらに、ステッパーは複数回スキャンするようにプログラムすることができ、解像度を高め、欠陥率を減らすことができます。FPA 5510 iXは、高効率ヒートシンクとインテリジェント冷却機で設計されており、過熱を防ぎ、消費電力を削減します。高速動作も可能で、最大スループットを実現しています。FPA-5510IXは、高度な光学系、オートフォーカスツール、ソフトウェア機能により、最高の信頼性と大量生産を実現するよう設計されています。ステッパーは、半導体フォトリソグラフィのための効率的なソリューションであり、迅速かつ信頼性の高い画像処理結果を提供します。
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