中古 CANON FPA 5510 iV #293817797 を販売中

CANON FPA 5510 iV
ID: 293817797
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.18-0.10 Resolution: ≤1000 nm DCO: 300.
CANON FPA 5510 iVは、高度な半導体リソグラフィ製造用に設計された高性能で高精度なウェハステッパーです。Nikon cGTO5510ウェーハステージを採用しており、超精密で短時間のスキャンが可能です。5。5mmおよび10ミクロンのステップ分解能の小さい視野によって、FPA 5510 iVは挑戦的な仕事を容易に扱うことができます。ステッパーは、CANON VME光学カラムを使用して、広いダイナミックレンジ内で非常に細かい分解能と高スループットを提供します。スキャナーミラーと電動ステージが組み合わされ、統一されたデザインの統合された機器が作成されます。これにより、スループットを高速化し、より小さなフットプリント内での精度を向上させることができます。CANON FPA 5510 iVは、使いやすいユーザーインターフェースと高感度の共焦点アライメントユニットと2Dワイヤレスアレイを備えたアライメントシステムを搭載しています。ステッパーには、最大50x倍率の優れた倍率マシンを搭載しており、より高精度なパターニングを実現します。高度な投影ツールにより、FPA 5510 iVは0。3ミクロンから10ミクロンまでの幅広い基板材料および膜厚に対応できます。レジストとマスクの堆積技術を組み合わせて、さまざまなサイズと複雑さのパターンを特別な精度で作成します。包括的なリソグラフィーモデルのために、CANON FPA 5510 iVには、生産性を向上させるための高度な機能が選択されています。ステッパーの直感的なインターフェイスは、迅速なセットアップを可能にし、迅速な納期のためのバッチ処理とレシピ管理を提供します。ステッパーはまた、そのパフォーマンスをさらに向上させるために、ソフトウェアの幅広い選択と互換性があります。FPA 5510 iVは、安全な作業環境を確保するために、さまざまな安全機能と空気清浄度システムを提供しています。内蔵のイオナイザーにより、ステッパーはデリケートな部品の充電とほこりの蓄積を最小限に抑え、重要なプロセスを改善できます。CANON FPA 5510 iVウェハステッパーは、精密リソグラフィ用途に高い精度と柔軟性を提供します。Nikon cGTO5510ウェーハステージとCANON VMEオプティカルカラムを組み合わせることで、要求の厳しい作業を正確かつ容易に処理できます。ステッパーの高度な倍率装置、直感的なユーザーインターフェース、空気清浄度システム、その他多くの特殊機能により、需要の高いリソグラフィ用途に最適です。
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