中古 CANON FPA-5500iZe #293758315 を販売中

CANON FPA 5500 iZeは、最先端の高密度マイクロストラクチャーの製造に適したフォトリソグラフィ機器用の高精度パターンジェネレータです。この装置は、5軸スキャンを使用して、2 μ mから32 μ mまでの解像度で優れたパターン品質と均一なエッジ配置を提供します。4次元、5軸スキャン制御システムは、揺れと傾きによるパターンの歪みを補正し、一貫して正確なパターンを提供します。ユニットは、中央のプレートに2つの独立したスキャナを取り付けて構成されています。各スキャナには、2つの対物レンズの1つを通してパターンマスクとウェーハに光を投影する回転ミラーが含まれています。これにより、高解像度と高スループットの生産プロセス機能の両方が可能になります。2つのスキャナを組み合わせることで、アライメントプロセスが簡素化され、ウェーハ準備の時間と複雑さが軽減されます。さらに、高温アニールとプロセス最適化を提供する高圧電源を内蔵しています。高度な自動化機能、自動ウェーハのロードとアンロード、専用ソフトウェアなどのその他の機能により、FPA 5500 iZeを量産プロセスに使用できます。CANON FPA 5500 iZeには、露出した半導体ウェーハを取り扱う際の人的被害を最小限に抑える保護機能も搭載しています。保護ケージと使いやすいウェーハハンドリングツールにより、保護手袋を必要とせずにウェーハを資産から取り外すことができます。これにより、汚染の可能性が低減され、ウェーハの処理による損傷を防ぐことができます。このモデルは、最小限のスキルを持つユーザーにオープンでユーザーフレンドリーなプラットフォームを提供するように設計されています。Windowsベースのソフトウェアを使用すると、ユーザーは簡単にウェーハレシピを入力し、テクニカルサポートとマシンヘルプファイルにアクセスできます。さらに、インタラクティブな診断とトラブルシューティング装置が提供され、機械の問題を迅速かつ簡単に判断できます。さらに、FPA 5500 iZeには、いくつかのウエハータイプの処理に必要なすべてのツールが含まれています。光暗号技術から減衰位相シフトおよびスプリットフィールドイメージングまで、このシステムは最先端のマイクロパターン、機能、および高密度機能を処理および検査するために装備されています。また、高度なロジックおよびメモリ製品の迅速な露出とエッチングにも使用できます。CANON FPA 5500 iZeは、最先端のパターニングと加工に最適なツールです。その精度と柔軟性により、量産プロセスに最適であり、高度な自動化と統合された安全機能により、さまざまな半導体アプリケーションにとって信頼性の高いツールとなります。