中古 CANON FPA 5500 iZa #9294138 を販売中

CANON FPA 5500 iZaは、キヤノンが開発したハイエンドリソグラフィ投影ステッパーです。この高度な光学リソグラフィ装置は、髪の幅の5分の1に相当する0。2ミクロンの解像度でウェーハ上のパターン化された層を露出するように設計されています。FPA 5500は、従来のステッパーと比較してフォーカスの向上とスループットの向上を可能にする、0。7の高い数値開口度をリリースします。FPA 5500は、CANONスキャンステッパーから採用された傾斜ステージを利用したCANON特許取得済みの高度なiZ PreAlign技術と、高度な「VIA2」アルゴリズムを使用して、ウェーハのパターンとステッパーの露出面の正確なアライメントを可能にします。これにより、従来のステッパーと比較してアライメント精度が向上し、スループットが向上します。FPA 5500は、CANON Edge 5500プロセッサを搭載しており、マシンのサイズを縮小し、15ビットADC/DACおよびウェーハアライメントマシン（WAM）を使用して高度なエッチング機能を備えています。このプロセッサは、古いウェーハステッパーと比較して、ウェーハエッジゾーンをアライメントエラーから解放します。FPA 5500の精度は、ウェーハを確実に保持する高安定性ガラス真空チャックと、4面の照明とステージレンズ構成を利用した投影アライナーを使用して、ミスアライメントを最小限に抑えることでさらに維持されています。また、FPA 5500はオートフォーカス方式を採用しており、レーザー光源とフォーカス検出器を使用して、マスクとウェハ間の焦点距離を正確に測定します。さらに、FPA 5500にはキヤノンアトムイメージングテクノロジーが搭載されており、6つの光軸を動かさずに同時に測定できるため、露出線量の精度が向上します。CANON FPA-5500IZAはパワフルで最先端のウェーハステッパーです。この最先端の光学リソグラフィ装置は、高いアライメント精度とスループットの向上を可能にし、パターニングにおいて最高の精度と安定性を提供します。