中古 CANON FPA 5500 iZa #9224031 を販売中

CANON FPA 5500 iZa
ID: 9224031
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
i-Line stepper, 12" 2004 vintage.
CANON FPA 5500 iZaウェーハステッパーは、高度なコンピュータチップの製造に使用されるウェーハの精密パターニング、またはリソグラフィ用の特殊精密機械です。ウェーハステッパーは、特殊な光学機器を使用して、ウェーハ表面に非常に小さく正確なパターンを生成し、回路経路をわずか数ナノメートル、または10億分の1メートルのサイズで配置することができます。iZaは、生産において可能な限り最高の精度と信頼性を確保するために、多くの先進技術を備えています。キヤノンFPA-5500IZAの照明システムは、高度なマイクロレンズアレイとレーザー照明源を組み合わせて使用し、収差を最小限に抑え、フィールド平坦性を最大化し、視野全体に均一な強度を確保します。調整可能なスリット効果ユニットと組み合わせることで、高精度で高解像度のイメージングを実現します。さらに、スリット効果機械はまた迷光を除去し、意図されたパターンだけが露出されることを保障します。FPAのイメージングオプティクス5500IZAまた、特許取得済みのダイナミックフォーカスメカニズムを使用して、イメージプレーンがステージ全体にわたって平坦で集中していることを保証します。これにより、マスクされていない各位置にわたって正確かつ再現可能な画像処理が保証されます。iZaのアライメントツールは、特殊なバックスキャッタ信号を使用してウェーハを光学アセットに合わせて検出し、位置の大きなシフトを横切っても高精度なパターニングを可能にします。最後に、CANON FPA 5500IZAの制御モデルは、ステージおよび光学機器の動作と校正を最適化するための特殊な制御アルゴリズムを備えています。直感的なユーザーインターフェイスと高度なソフトウェアプラットフォームと組み合わせることで、ユーザーフレンドリーな操作とカスタムパターニングのための広範なパラメータを可能にします。全体として、FPA-5500 IZAは、高度なチップの精密パターニングのための強力で汎用性の高いウェーハステッパーです。高度なイメージングオプティクス、統合されたアライメントシステム、洗練されたコントロールユニットの組み合わせにより、高精度で信頼性の高いパターンを作成するのに理想的な選択肢です。
まだレビューはありません