中古 CANON FPA 5500 iZa #293821661 を販売中

CANON FPA 5500 iZa
ID: 293821661
i-Line stepper.
CANON FPA 5500 iZaは、ウェーハレベルのプロセスを極限まで引き出すように設計されたウェーハステッパーです。それは市場の他のどの機械でも比類のない多様性のレベルの高精度、高精度の機械です。キヤノンFPA-5500IZAは、高解像度UV光源、デジタルズーム機器、±2µmの再現精度を持つ高精度モーションシステムなど、数多くの先進技術とシステムを搭載しています。このマシンは、さまざまなイメージングモードを提供し、ウェーハレベルのプロセスのさまざまなアプリケーションに簡単に適応することができます。ウェハレベルの自動アライメント、パターニング、計測、検査、レビューなどが含まれます。最大0.45µm枚のCD解像度が可能で、最大100レベルの基板と最大0。45mm/sec2のZモーションマシンに対応できるアドレッシングユニットを備えています。FPA 5500IZAは、さまざまな光学系を受け入れることができる電動式を備えています。これには、アライメントやフォーカス、検査、チップイメージングなど、さまざまなイメージングのニーズに適した範囲の目的とレンズが含まれます。さらに、ロータリーテーブル、リニア、XYテーブルなどの幅広い先進ポジショナを搭載し、あらゆる形状やサイズの基板に対応できます。FPA 5500 iZaは、ユーザーフレンドリーで学習しやすいグラフィカルユーザーインターフェイスによって制御され、最小限のトレーニングで機械を迅速かつ簡単に操作できます。このマシンはまた、リアルタイムのフィードバックを提供し、ユーザーは操作中にオンザフライの修正を行うことができます。これは、手動とロボットウェーハの両方の処理に適応し、柔軟性を最大限に高めることができます。さらに、CANONシリーズの計測および欠陥レビューシステムと互換性があり、最高レベルの精度と信頼性を実現しています。全体として、FPA-5500 IZAは、ウェーハ処理において最高レベルの精度と精度を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。ユーザーインターフェイス、さまざまなイメージングモード、ポジショナーの範囲、および互換性のある計測および欠陥レビューシステムを使用することは簡単で、あらゆる作業で最も厳しい許容誤差を達成することができる非常に有能なマシンです。
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