中古 CANON FPA 5500 iZa #293813011 を販売中

CANON FPA 5500 iZaウェハステッパーは、半導体製造、特にリソグラフィ用途向けに設計された最先端の機器です。このシステムは、高度な光学技術とコンピュータ支援技術を利用して、半導体や材料に正確に特徴をパターン化します。CANON FPA-5500IZAの特長は、マスクレス、ウェーハ表面の両側に均一な機能のバッチ加工、10nm分解能を備え、集積回路などの小型部品の量産に最適です。FPA 5500IZAには、高度な光学系とレーザー干渉計が搭載されており、ウェーハ表面の特徴を小さな寸法とタイトなアスペクト比で正確にパターン化することができます。ユニークなマスクレス投影アライメント方式を採用し、ウェーハ上にレチクルとパターン情報を同時に投影することで、データ転送の高速化とスループットの向上を実現しています。その複雑で汎用性の高い機械アーキテクチャは、ナノスケールの精度で焦点深度を拡大するための複数のビーム動作をサポートしています。このツールの精度は、高度なコンピュータ支援技術、特にアクティブなセットアップ機能の使用によってさらに向上します。この機能により、すべてのウェーハレベルのアライメントが正確かつ効率的に行われると同時に、生産時間を短縮するエラーも排除されます。さらに、ウェーハ上のパターンの導電性、解像度、パターンの直線性を検査およびレビューするなど、露出後のさまざまなタスクもサポートします。さらに、パワフルな処理モデルにより、ウェーハに出力される前にパターンをレビュー、編集、調整することができます。全体として、CANON FPA-5500 IZAウェーハステッパーは、半導体製造に欠かせない画期的な機器です。その先進的な光学、モジュール設計、アクティブなセットアップ機能により、生産現場で比類のない生産性、精度、スループットを提供します。この装置は、比類のない10nm分解能能とウェーハレベルのアライメントにより、集積回路やその他の先端材料の連続生産に最適です。