中古 CANON FPA 5500 iZa #293808358 を販売中

CANON FPA 5500 iZaは、半導体製造のための高い生産性と精密なイメージングを提供する最高級のウェーハステッパーです。1時間あたり1万枚の5インチウェーハを作成することができ、ナノメートルレンジにレーザービームを集中させて高精度なパターンを作成することができます。CANON FPA-5500IZAは、2つのレンズを組み合わせ、フォーカスドリフトを低減し、より高い精度を実現するキヤノンマルチレンズ技術をベースとしています。FPA 5500IZAは、独自に開発した低電圧、可変速度スキャン装置と独自の4チャンネル露光技術を組み合わせて、高速でも比類のない精度を保証します。2。5 µmから0。5 µmまでの解像度をサポートし、低粘度および混合内容レジストと互換性があります。CANON FPA 5500IZAは、優れたイメージング機能だけでなく、正確性を確保するための信頼性の高い堅牢なワークステーション内蔵アライメントシステムも提供しています。最高品質の画像を確保するために、FPA-5500IZAはいくつかの高度な技術を統合しています。スマートな欠陥検出ユニットは、粒子の汚染やその他の不純物を監視します。レーザービームシェイパーは解像度を維持しながらフィールドサイズを大きくし、実際のトモグラフィー技術は3D露出制御を提供します。さらに、CANON FPA-5500 IZAは、単一レベルとマルチレベルの両方の露出を処理する機能を備えており、複雑なパターニングを可能にします。オペレータやエンジニアの手間をさらに軽減するために、FPA 5500 iZaは、ウェーハアライメントや線量マッピングなどのステージ管理および分析サポートツールを備えたユーザーフレンドリーな操作インターフェイスを備えています。さらに、高度なラックトラッキングツールと統合することで、最高レベルの精密半導体処理に必要な電力と柔軟性の両方を提供するストーラを合理化できます。