中古 CANON FPA 5500 iZa #293799914 を販売中

CANON FPA 5500 iZaは、幅広い半導体コンポーネントの先進的な製造用に設計された最先端のウェーハステッパーです。このマシンは、高負荷プラットフォーム、生産性の向上、並外れた精度と再現性を提供し、大量生産に最適です。CANON FPA-5500IZAは、統合されたデュアルプレーンアライメント装置を備えており、さまざまな種類のソース基板と宛先基板を正確かつ迅速に簡単に配置できます。5軸モーションプラットフォームは、2つのリニアドライブ、2つの回転軸、およびチャックの回転専用の1軸を備えています。このモーションプラットフォームは、幅広い基板サイズや形状に対応することができ、ミクロンレベルの精度で複雑で小さな機能を印刷することができます。FPA 5500IZAはまた、キヤノン独自の非球面光学システム（AOS）を搭載しており、優れたパターン配置精度の収差を最小限に抑え、サブミクロン登録とオーバーレイ精度を提供します。このユニットはまた、特殊なツーリングの必要性を排除し、より柔軟性と制御を顧客に提供します。FPA 5500は157nmから248nmへの多数の波長と互換性があり、慣習的な、樹脂および熱抵抗の材料のフルレンジを収容できます。レーザースキャナーは、最大の開口部と統合されており、ビーム角の正確な制御を可能にします。FPA 5500はまた、最適なフィルム条件のための湿度検出機を利用することができ、ガスや蒸気汚染などの環境変化からデバイスを保護するためのオンライン補正が含まれています。また、FPA 5500は包括的なソフトウェアスイートを備えており、様々な設計要件と製造プロセスを統合することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、マシンを簡単に制御でき、CANONオンラインプロセスチュートリアルでは、ステップバイステップの手順にすばやくアクセスできます。結論として、FPA-5500 IZAは、比類のない精度、再現性、および性能を提供する、大量生産のための選択肢のソリューションです。堅牢なモーションプラットフォームと柔軟なパラメータにより、幅広い基板、レジスト材料、設計要件に対応でき、デバイスの品質と効率が向上します。