中古 CANON FPA 5500 iZa #293754594 を販売中
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CANON FPA 5500 iZaは、半導体製造のために設計された最先端の大規模ウェーハステッパーです。高解像度パターニングにも優れたスループットを提供し、コスト効率とパフォーマンスの両方を兼ね備えています。一度に1回の露出が可能で、フル4-D （3D+E）ウェーハアライメントと4-Dフィードバックが利用可能です。そのレチクルは、利便性と信頼性のためにカセットローディング装置で保持されています。CANON FPA-5500IZAは5x6mmの広い視野を持ち、標準スキャン時間に100倍の加速度を提供し、レチクルサイズに依存して1時間あたり最大17,000ダイを処理できます。また、ウェーハステッパーは、+/-3nmのアライメント精度と1。72umのフォーカス精度を備えた高性能で高精度なフォーカシングシステムを備えています。これにより、レチクルやウェーハのサイズに関係なく、非常に厳しい許容差が得られ、信頼性の高い高性能コンポーネントの生産生産が可能になります。このマシンは、複数の露出や自動画像処理など、生産を最適化するためのさまざまな機能を備え、運用アプローチに柔軟に対応しています。ソフトウェアスイートも利用可能で、プリコレクト、ショット、検証、履歴転送のためのさまざまな自動オプションがあります。最後に、標準的なレチクルとステップの両方を交換し、レチクルを迅速かつ効率的に繰り返すことができる自動レチクル交換ユニットにより、スループットと生産性がさらに向上します。FPA 5500IZAは、コスト効率とパフォーマンスの両方を提供するためにキヤノンによって設計および開発されたプレミアムウェーハステッパーです。広い視野、高性能の集中機械、適用範囲が広い運用アプローチおよび自動化された選択の範囲は高いスループットおよび生産性の信頼できる部品の生産を可能にします。
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