中古 CANON FPA 5500 iZa #293644154 を販売中

CANON FPA 5500 iZa
ID: 293644154
i-Line steppers.
CANON FPA 5500 iZaは、半導体集積回路で高精度で微細な露光パターンを生成するために使用されるステップアンドリピートマシンとしても知られる最先端のウェハステッパーです。このステッパーは、強力なiZa照明装置を使用して、反射および透過露光レンズのフルレンジ、高度なアライニングステージ、および高度なモータ制御を備えた最大のイメージング性能を実現します。このステッパーは、レーザービーム制御のXYステージとデュアルビーム露出ヘッドとの競合とは別に設定されます。最大800nmの露光波長、16nmステップサイズ、および30X分解能を備えたこのマシンは、最高の仕様を満たす非常に正確で正確な露光パターンを提供できます。キヤノンFPA-5500IZAの直感的なヒューマンマシンインターフェースにより、露光プロセス全体がスムーズかつ効率的に実行されます。ナビゲートしやすいソフトウェアとユーザーフレンドリーな機能の選択により、オペレータはステップアンドリピートステアリングシステムの助けを借りて、ウェーハをロード、整列、露出するのが簡単です。一方、グラフィカルユーザーインターフェイスは、プロセスの各ステップの可視性を提供し、進捗状況を監視し、リアルタイムでパラメータを調整することが容易になります。FPA 5500IZAには、高度な歪み測定システムや画像品質を最適化するためのビームブランカなど、印象的なアクセサリーが用意されています。各ビームブランカーは異なる量の光を伝送し、露光プロセスの柔軟性を高めます。さらに、さまざまなソフトウェアとハードウェアオプションを追加することで、最大限の効率と柔軟性を実現できます。最大の性能と寿命を確保するために、ステッパーは高度な光学フィードバックシステムと高度な制御アルゴリズムを使用して振動を最小限に抑え、消費電力を低減し、より良い露出均一性を実現します。CANON FPA-5500 IZAは24時間365日稼動するように設計されており、その革新的な温度制御ユニットは安定した動作と信頼性の高い性能を保証します。CANON FPA 5500IZAは、最先端のイメージング機能とパフォーマンスを備えた、先進的でメンテナンス性の低いウェーハステッパーです。その高精度機械は速く、信頼でき、反復可能な結果の優秀な露出の正確さを、保障します。このツールは、効率的で費用対効果の高いマイクロエレクトロニクス生産のための標準を設定し続けます。
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