中古 CANON FPA 5500 iZa #293628566 を販売中

CANON FPA 5500 iZaは、半導体の製造作業を完了するために設計されたウェハステッパーです。非常に精密なプロセスを容易にするための機能を備えています。このデバイスは、露出とアライメントパラメータを個別に管理できるレーザー露出を備えたデュアルイメージング装置を使用しています。キヤノンFPA-5500IZAは、従来のシステムと比較して測定時間を5倍に短縮し、ハイエンドのアライメント精度を提供します。さらに、調整可能なパワーレンジを備えた高出力レーザーライトを備えたイメージングシステムを改善しました。このデバイスには、最大200mmのウェーハに対応できる高度なステージプラットフォームが装備されており、+/-1 μ mの動きの再現性を提供します。また、キヤノン独自のオートフォーカスセンサを搭載しており、最速測定と正確なフォーカスポジション変更が可能です。キヤノンFPAシリーズには、露出アライメントやパターン判定などの機能があります。露出アライメント機能は、すべての露出が高精度であることを確認し、パターン決定機能により、すべてのパターンが正確に決定され、整列されていることを確認します。このデバイスはまた、ステージの障害を最小限に抑えるために4軸補正を備えた傾斜制御ユニットを提供しています、セルフクリーニング技術、シンプルで直感的なユーザーインターフェース。キヤノンFPAは、低消費電力、最小振動、低冷却機の要求により、環境負荷が低くなります。これは、緊密な統合と容易なネットワーク接続のために設計されており、既存のシステムへの統合が容易になります。このデバイスには、包括的なサービスとメンテナンスサポート、および包括的なオプションとアップグレードがあります。全体として、FPA 5500IZAは半導体製造に最適な高効率で精密なウェーハステッパーです。高精度なアライメントツール、傾斜制御アセット、セルフクリーニング技術、低消費電力、既存システムへの容易な統合を備えています。その包括的なオプションとアップグレードにより、あらゆる半導体製造ニーズに対応できます。