中古 CANON FPA 5500 iZa #293606900 を販売中

CANON FPA 5500 iZaウェーハステッパーは、300mmまでの超大型ウェーハをパターン化する半導体リソグラフィ装置です。高解像度エンコーダを備えた精密な高度なステージを備え、最高の精度と最大スループットを実現する高度なユニット監視と制御を提供します。このマシンは、65nmノード以降でのサブ30nmシリコンの生産と生産に適しています。このツールは、高度な重いイオンリソグラフィを使用して、最高のパターン精度とオーバーレイ性能を保証します。分解能は0。7nmのライン/スペースから15nmまで、オーバーレイ機能は1。3nmから15nmの範囲です。高度な重量イオンリソグラフィにより、スループットが向上し、レチクルの変化が少なく、露出も少なく生産性が向上します。CANON FPA-5500IZAウェーハステッパーは、アプリケーションの柔軟性と拡張性を最大限に高めるWindowsCEベースのオペレーティングモデルを搭載した高性能な監視制御アセットCORE GXP 266を搭載しています。また、FPA 5500IZAは、最先端の投影光学系、ステージおよび検出器システム、および静止した5軸ウェーハ処理装置を備えています。CANON FPA-5500 IZAは、高純度、熱安定性、振動低減を備え、最高の動作性能を実現しています。Free Scanning Mode （FSM）技術により、動作性能がさらに向上し、ステッパー全体を再初期化する必要なく、ウェーハ露出をスキャンすることができます。また、最大0。42um/secのスキャンが可能な高度なステージ技術を備えており、カメラの露出時間を短縮し、スループットを向上させます。FPA 5500 iZaは、最先端のリソグラフィ性能、超高解像度能力、高度な信頼性、精度、スループットを備えたウェーハ生産のリーダーです。このシステムは、最先端の65nmおよび45nm半導体ノードの複雑なデバイスやパターン作成に最適です。