中古 CANON FPA 5500 iZa #293606898 を販売中
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ID: 293606898
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
i-Line stepper, 12"
Process: i-Line wide-field
FOUP Load port
(2) SMIF Indexers
Lens performance
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, 3-Phase
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZaは、先進的な半導体製造のために開発されたハイエンドチップイメージングおよびリソグラフィ機器です。このウェーハステッピングシステムは、高度なリソグラフィ技術操作と精密ウェーハマッピング機能のために設計されています。その中核となるのは、広い光学分野と高いスループット、低ノイズビームスキャンであり、比類のない画像とリソグラフィ性能を提供することができます。CANON FPA-5500IZAは、20インチの下にある大きな照明フィールドで設計されており、大きなダイピッチのアプリケーションを可能にします。この大きなフィールドは、特に大きなチップを加工する場合に、プロセス余白を拡張します。耐衝撃性に優れ、耐腐食性に優れた設計で、過酷な工業プロセス条件での使用が可能です。消費電力も改善され、比類のないエネルギー効率を実現しています。FPA 5500IZAには、高精度、低ノイズビームスキャンが装備されており、小さなバッチを処理することができ、単層のために、それはミクロン正確なフィーチャーサイズを生成することができます。このスキャン技術は、ウェーハ上の汚染レベルを大幅に低減し、より高い精度を提供するクリーンなプロセスを提供します。また、大型でパワフルなスキャン液体レンズを搭載し、20ビットの色深度で0。75マイクロメートルの解像度まで出力することができます。キヤノンFPA 5500IZAは、正確な配置と正確なアライメントの両方で高速パターニングのための光電格子を採用しています。この技術はまた、ツールが簡単に小さなパターンと大きなパターンを切り替えることができるので、途切れないプログラミングを可能にします。さらに、アセットの高精度アライメント機能により、パターンの正確な位置決めと信頼性を実現します。FPA-5500IZAは、高度なアルゴリズムと統合された高度なコンピュータモデルとソフトウェアを備えており、ウェーハ上の高解像度および大面積パターンを正確にマッピングすることができます。液浸リソグラフィーなどの高度なリソグラフィーや、高度なUV、 X線、 eビームイメージングなどの高度なウエハイメージングが可能です。FPA 5500 iZaは、信頼性とエネルギー効率に優れた設計、高度なイメージングおよびリソグラフィ機能、および正確なウェハマッピング技術により、優れたチップ製造とリソグラフィ操作を提供し、比類のないパフォーマンスを提供します。
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