中古 CANON FPA 5500 iZa #293606891 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 293606891
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
i-Line stepper, 12"
Process: i-Line wide-field
FOUP Load port
(2) SMIF Indexers
Lens performance
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 VAC, 3-Phase
2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZaは、精密なアライメントと露出ソリューションを必要とする半導体デバイスのメーカー向けに設計されたウェハステッパーです。シングルビームプロジェクションアライナータイプで、高度な精度と均一性をユーザーに提供します。CANON FPA-5500IZAは、ミスの少ない高品質な製品を生み出すことで、プロセス全体を改善するために設計されたさまざまな機能を備えています。照らされたフィールドサイズは7。5から55 μ mの範囲で、最小フィーチャーサイズは0。5 μ mです。ステッパーのアライメント精度は最大2。5 μ mで、最小測定可能な線幅は0。15 μ mです。FPA 5500IZAは、3軸(X、 Y、 Z)で移動し、アライメントと露出の両方の微調整が可能な機械的ステージを備えています。さらに、ステッパーには高解像度のイメージングシステムがあり、アライメントマークを迅速かつ正確に登録できます。さらに、オートフォーカスとマニュアルフォーカスの両方を装備し、精度と再現性を高めています。FPA-5500 IZAには、複数のバッチにわたって製品の一貫性を確保するシャッターレスレーザーソースを含む広範な露光システムもあります。このシステムはステッパー自体に統合されており、幅広い露出目標に適応することができます。また、低反射ミラーが改善されたことで、全露光時間が短縮され、画像精度が向上します。ステッパーは、ユーザーフレンドリーなグラフィックディスプレイターミナルと一連のソフトウェアで、ユーザーフレンドリーに設計されています。このソフトウェアスイートは、アライメント、露出、露出後処理など、さまざまな製造プロセスの自動入力と制御を可能にします。ステッパーは、手動または自動化された、またはオフラインまたはオンラインモードなどのさまざまなモードで操作できます。キヤノンFPA 5500IZAは、高い精度、再現性、スピードをメーカーに提供するために設計されています。半導体デバイスのメーカーに最適な汎用性と非常に適応性の高いステッパーです。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより使いやすく、幅広いプロセスにプログラミングできます。最後に、その革新的な設計は、全体的な製造プロセスを改善するように設計されており、ミスの少ない優れた製品になります。
まだレビューはありません