中古 CANON FPA 5500 iZ+ #9391644 を販売中

CANON FPA 5500 iZ+は、最新の半導体生産ラインの最も困難な要件を満たすように特別に設計された高精度、高性能ウェーハステッパーです。これは、FPA 5500 iZの改良版であり、優れた画質、高速で正確なスキャン、および改善されたウェーハスループットを提供する全く新しいIZ+リソグラフィーエンジンを備えています。CANON FPA-5500IZ+には65ナノメートル（nm）のレンズが搭載されており、低オーバーヘッドとコストパフォーマンスの向上を実現しています。高度なエンジニアリングと革新的なデザインにより、さまざまなサイズと形状のウェーハに高品質のパターンを作成することができます。FPA 5500 IZ++には、精密パターンが形成される6インチワイドビジネスイメージングプレート（BIP）が装備されています。このBIPは、超高解像度イメージングに使用するためのナノメートルスケールの精密なハイテクポリマーで作られています。組み込みの位置決めシステムにより、CANON FPA 5500 IZ++は正確にスキャンを正確にパターンに登録し、シルエットとラインの忠実度を向上させます。また、スペーシャルフィルターは、不要なノイズを排除し、ウェーハの膨張や厚さの変化による歪みを低減するのに役立ちます。FPA-5500IZ+は高いスループットと高精度のために設計されており、高度な半導体生産ラインでの使用に最適です。その高精度センサは、スキャンされるウエハの正確な位置を密接に追跡して反応し、あらゆる光学ステップで正確なパターンのアライメントを保証します。さらに、独自のステッチアルゴリズムにより、2つの同期スキャンヘッドがデータフローを中断することなく、パターンを正確に結合できます。FPA 5500 iZ+には、メンテナンスと操作を容易にするための統合ハードウェアとソフトウェアが装備されています。自動化されたキャリブレーションシステムにより、ステッパーは最高のパターン忠実度を維持し、ハイダイナミックレンジ照明システム（HD-IL）は一貫したパターン品質を保証します。これらのシステムはどちらも、デバイスの高度な光学プロセッサと連携して動作するように設計されており、最も複雑なパターン形状をより迅速かつ正確に生産できます。要するに、CANON FPA 5500 iZ+は、最新の半導体生産ラインの最も困難な要件を満たすように設計された、高度で高性能なウェーハステッパーです。革新的なエンジニアリング、最先端の機能、操作性を備えたこのデバイスは、さまざまなサイズと形状のウェーハに高品質のデザインを作成することができます。