中古 CANON FPA 5500 iZ #9384056 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、半導体デバイスの製造のための高度で信頼性の高いプラットフォームをユーザーに提供するように設計された光学ウェーハステッパーです。このデバイスは次世代のCANON iZ技術であり、業界で最も先進的で効率的なウェーハステッパーです。ウェーハステッパーには、高度な高解像度プロジェクションツール、統合計測機能を備えた高度なステージとステージ、および高容量リソグラフィーソースが装備されています。CANON FPA 5500IZは、248nmの波長を持つDUV KrFレーザーと高度な球面光学を使用して、高解像度のイメージング機器を提供します。ファインピッチモータ、多次元スキャン、キネマティックコントロールで構成された高精度の先進ステージシステムを特長としています。また、ウエハステッパーは、UVからIRまでの多波長イルミネーションを利用した大容量リソグラフィ源を備えており、長期間、繰り返し可能で、超解像リソグラフィを可能にします。FPA-5500 IZには、欠陥検査、イメージメッキ、計測機能が統合されており、ユーザーに最高品質のデバイス製造のための完全なユニットを提供します。ウェーハステッパーのすべてのコンポーネントはモジュール式で交換可能で、メンテナンスと修理が容易です。さらに、このマシンには電子電源とマルチチャネルの電気機械制御が装備されており、低サイクルタイムとスループットの向上を可能にします。FPA 5500 iZは、最も要求の厳しい半導体生産環境のニーズを満たすように設計されています。高解像度のイメージングユニットと高度なステージは、優れたイメージング精度と正確な制御を提供します。統合された計測、欠陥検査、めっき機能により、デバイスの製造に完全なソリューションを提供します。最後に、モジュール構造と長期反復可能なリソグラフィーマシンは、高精度デバイス製造の大量生産に理想的な選択肢です。