中古 CANON FPA 5500 iZ #9382264 を販売中

CANON FPA 5555 iZは、印刷ラインやマイクロサーキットなどの構造物のウェーハ上で高精度な画像を生成する先進ステッパーです。様々なサイズの画像を作成できる汎用性の高いデバイスで、解像度は最大3。7 µm、アスペクト比は最大20：1です。ステッパーは、単一の浸漬と複数の浸漬露出の両方が可能です。CANON FPA 5555 iZは、ウェーハレベル基板（CWLS）の大量生産やパッケージデバイス製造など、さまざまな材料やプロセスに適しています。その信頼性とスピードは、高い歩留まり生産を可能にします。ステッパーの自動化により、迅速かつ効率的なウェーハ生産が可能になります。柔軟なアライメント精度と、様々な厚さのウエハに対応するマルチモデル機能を備えています。CANON FPA 5555 iZは、ロープロファイルベース設計の長寿命LED照明ソースを備え、信頼性の高い露出整合性を提供します。また、独自のオーバーレイ/高エキセントリック回折（HED）機能を備えており、損傷や生産スループットを制限することなく、非常に高いオーバーレイアライメント精度を実現します。ステッパーはバックスキャナ構成を最適化し、散乱ノイズを大幅に低減し、画質を向上させます。ステッパーには高速シャッターメカニズムも装備されており、2000ミリ秒から大口径ウェーハ用、小口ウェーハ用1000Hzまで、幅広い露出速度を実現しています。シャッターの柔軟性により、さまざまな基板やプロセスに適用できます。Liquid Crystal Bill （LCB）システムにより、高度な露出調整と色管理が可能になり、露出をより大きく制御できます。CANON FPA 5555 iZは、非常に細かい線幅と正確なアライメント精度でオーバーレイを生成することもできます。ステッパーには、高度なウェーハレベリングシステムが装備されており、正確なウェーハ軌道と傾き制御を可能にします。その統合されたコネクタモジュールは多くの標準的なプロダクトと互換性があり、カスタマイズされた解決を提供する機能があります。このステッパーはまた、ウェーハ露出プロセスを監視および制御するための包括的なソフトウェアを備えています。CANON FPA 5555 iZは、大企業のハイエンド生産から小規模生産まで、幅広いニーズに最適なソリューションです。コストを低く効率的に抑えながら、信頼性の高い設計となっています。