中古 CANON FPA 5500 iZ #9350968 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、半導体および光電子デバイスの製造に使用される最先端のウェーハステッパーです。マイクロスケールおよびナノスケールの機能を生成し、精度と性能を向上させることができます。機械の中心には、5,500mmパルスレーザーと差動イメージング（DIF）構成を組み合わせた統合されたZAPデュアルビーム光学機器があり、フォトリソグラフィ性能を向上させています。CANON FPA 5500IZには、600mmの長方形プロジェクションレンズも搭載しており、高速スキャンと歪みの低減が可能です。FPA-5500 IZは425mmの広いフィールド面積を持ち、精度と再現性を向上させるために、革新的なフィーチャーベースのOn Axis Alignment （FOBAW）システムを備えています。高精度のX-Yステージは、高精度な独立した運動とスキャンガイダンスが可能です。高い生産性と信頼性を実現するため、工具のセットアップ時間を短縮して設計されています。性能面では、CANON FPA-5500 IZは、0。5 µmの最小機能サイズの高精度エッチングおよび/またはコーティングされたデバイスを製造することができます。また、回折ブラー低減技術を搭載しており、回折によるマスクエラーの影響を軽減することができます。MRS （Memory Resonant Scan）技術を搭載した高度なステージコントロールマシンにより、マスクツーウェーハアライメントと高速パターニングを実現します。さらに、FPA 5500 iZは、安全性、効率性、費用対効果を高めるいくつかの機能を備えて設計されています。それはレーザーの安全を保障するために機械の環境を監視するレーザーの安全監視用具が装備されています。この機械はまた、強制空気資産によって放出される熱を発生させ、部品の損傷を防ぎ、エネルギー効率を向上させることができます。最後に、プログラマブルロジックモデルは、迅速かつ簡単なジョブ制御のためのインタラクティブインターフェイスを提供します。FPA 5500IZは、要求の厳しい生産要件に優れた精度と性能を提供する最先端のウェーハステッパーです。FOBAW、 MRS、レーザー安全監視などの高度な機能により、信頼性が高く費用対効果が高いことを保証します。CANON FPA 5500 iZは半導体や光電子デバイスの製造に最適です。