中古 CANON FPA 5500 iZ+ #9293801 を販売中

CANON FPA 5500 iZ+は、集積回路（IC）製造プロセス向けに設計された最先端のウェハステッパーです。このデバイスは、直径200mmから450mmまでのウェーハを処理することができ、最大300mm/秒の急速な速度でウェーハを処理することができます。ステッパーには、ウェーハ上のレチクルの精密なアライメントを可能にする高度な画像位置決め光学機器が装備されており、各露出のサブミクロン精度を備えています。このシステムは、ウェーハ全体を数分以内にスキャンし、欠陥や欠陥を検出することもできます。さらに、FPA 5500は、露出の均一性とウェーハの表面全体にわたる非常に正確なウェーハとレチクルのアライメントを可能にする精密ステージモーション制御を備えています。ステッパーはコンパクトな設計で、高価なトランスファーユニットを必要とせずに、さまざまな構成でマシンを設置できます。さらに、機械の状態を監視し、確実な生産プロセスを確保するために必要な予防および是正メンテナンスを実施するメンテナンス機能を自動化しています。このデバイスは、高性能LEDを使用してウェーハの露出面全体に均一な光強度を提供するアドバンストオンアクシスイルミネーションツール（AOIS）を搭載しています。さらに、このアセットは、最適化されたUVスペクトルを使用して、可能な限り最高の解像度をレンダリングして、より明瞭さとエッジ定義を向上させ、ウェーハのタイプと厚さに応じて焦点の深さを高めます。また、高精度回折光素子を採用し、均一な照明領域をウェーハ上に投影することで、ほぼ完璧な画像均一性と露光の汎用性を実現しています。さらに、FPA 5500にはCANON iZ Monitor Modelが搭載されており、正確な露出データをリアルタイムで記録およびレポートし、正確かつエラーのない動作を可能にします。CANON FPA-5500IZ+は、最高レベルの品質と生産性を確保するために、統合された品質保証装置で設計されています。このシステムは、プロセスの変更を記録し、プロセスの改善と予防メンテナンスのために容易に取得できるようにし、設備間でプロセスデータを共有することができます。さらに、FPA 5500 IZ++にはオートアライメントユニットが装備されており、迅速で正確なレチクル間ウェーハのアライメントを可能にし、繰り返しの製品品質を保証します。FPA 5500 iZ+は信頼性の高い精密デバイスであり、最高のIC生産技術を提供します。最大300mm/秒という驚異的なスピードで、ステッパーは露出ごとに驚異的なディテールを提供し、既存のウエハハンドリングコンポーネントは簡単にアップグレードでき、さらに厳しい作業にも対応できます。