中古 CANON FPA 5500 iZ #9293800 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、高精度なリソグラフィ画像を生成するために設計された最先端のウェーハステッパーです。この装置は、高度なPolychromatic Reductionフェーズシフト技術を使用して、歪みが少なくバックグラウンドノイズが少ない非常に高解像度の画像を実現します。キヤノンFPA 5500IZは、シンクロトロンレベルの画像解像度と特徴均一性を提供するとともに、スループットを向上させ、開発時間を短縮します。このシステムには、objAとobjBという2つの高絞り目的が装備されており、優れた機能分解能を提供し、機能の直線性を高め、フィールド全体にわたって2 nm以下の分解能を達成しています。これにより、アドレス指定性の向上、プロセス制御の強化、将来の製品拡張性の向上が可能になります。また、FPA-5500 IZは、CANONリソグラフィーシステムの特長であるDual Magnification Imaging （DMI）を利用しています。DMIは、2つの対物レンズを組み合わせて、画像の詳細を細かく焦点を合わせて調整することで、ユーザーは広範囲にわたる特徴の正確な特性評価のための新しい方法論を探求することができます。このユニットは、露出パラメータとともにフィールドサイズを自動的に調整する高度な統合ステップとリピートプロセスを使用します。これにより、露出エラーの可能性が低減され、フィールド全体の均一性が確保されます。オンボードウェーハステージングオプションは、高速統合プロセスと相まって、処理時間を短縮し、スループットを向上させます。FPA 5500IZは、4X以上のズームレンズ範囲を持つアプリケーション向けの汎用性の高いコンパクトな自動車用ツールであるFPA-100ズームオプティクス機とも互換性があります。このユニットは、1.8X、 2.2X、 2.8Xの3種類のレンズを提供しており、最も困難なイメージングの問題にすばやく対応できます。FPA 5500 iZは、キヤノンの特許取得済みのMicroLock技術と精密リソグラフィ用途向けの高度なテレセントリック光学資産を利用しています。MicroLockは露出のずれを防ぎ、パターンが正確にウェーハに転送されるようにします。テレセントリック光学モデルは、静的にキャリブレーションされたレチクル装置を使用してパターン精度と再現性を極め、CANON FPA-5500 IZは半導体製造に最適なシステムです。CANON FPA 5500 iZは、信頼性の高い使いやすいウェーハステッパーをお探しのお客様に最適です。機能と高度な技術の組み合わせにより、キヤノンFPA 5500IZ、リソグラフィ精度と製品のスケーラビリティを向上させたい企業にとって貴重なツールとなります。