中古 CANON FPA 5500 iZ #9275017 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、半導体製造プロセスにおいて重要なリソグラフィ作業を行うウェハステッパーです。FPA 5000は、光学機器の改良と0。09ミクロンまでの機能の高解像度を備えた改良版です。ステッパーは、レンズ、ミラー、プリズムなどの光学要素の配列で構成されたレンズ技術を使用して、画像をウェーハに転送します。これは、画像のより正確かつ正確な配置を可能にする光の絞りを低減します。CANON FPA 5500IZは、ディープUVリソグラフィ用の高いイメージング性能を有しており、プラス・負共に0。09ミクロン（0。009 mm）までの線幅を持つパターンを提供します。また、優れたオーバーレイ精度と低いプロセス緯度を提供し、製品設計に対する厳しい公差を保証します。このユニットは、解像度を向上させるプロジェクションオプトエレクトロニクスシステムと、露光領域全体にわたって照明の均一性を確保する照明ユニットを改善しました。これにより、お客様が希望するパターンを作成するために最適な結果を得ることができます。FPA-5500 IZには、高精度のリソグラフィ作業に適した多数の機能が搭載されています。最大24 X 24 mmのフィールドを持ち、最大フィールドサイズと精度のために10mmのステージ変換範囲を備えています。このユニットは、i-line （365 nm）、 g-line （436 nm）、 DUV （248 nm）など、さまざまな波長で動作することができます。また、高性能ウエハアライメントツールを搭載しており、最大20nmの再現性で、70nm以上のアライメント精度を確保します。機械は空気イオナイザーおよび塵フィルターのような特徴が付いている非常に信頼でき、安定しています。また、振動防止テーブルを備えており、ウェーハ上にダウンからハーフピッチまで安定した画像配置が可能です。真空チャンバーの汚染防止に役立つ内部ゲートバルブを装備しています。FPA 5500IZには、画像情報を見やすくするための大型液晶モニターも備えています。自動化の面では、CANON FPA-5500 IZにはアップグレード可能なコントローラが装備されており、スループットを変化させるために最大3つのユーザー定義可能な自動読み込み機能をサポートできます。また、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介して制御可能であり、フルオートマチック、半自動または手動操作を可能にします。このマシンは、露出時間を短縮し、1時間あたり最大8つのウエハを処理することができ、高いプロセス速度を持っています。全体として、FPA 5500 iZは高度なウェーハステッパーであり、光学システムの改良により解像度と機能を向上させます。また、ウェーハアライメントとオーバーレイの高精度、および効率とスループットを向上させるオートメーションオプションを提供します。