中古 CANON FPA 5500 iZ+ #9251794 を販売中

CANON FPA 5500 iZ+は、半導体製造アプリケーション向けに設計されたウェハステッパーです。iZ+はCANONステッピングシリーズのフラッグシップモデルで、非常に高い精度と高いスループットでパターンを生成することができます。ステッパーは6軸デバイスで、ナノメートルレベルの精度のために各軸が個別にプログラム可能です。回折限界解像度1。2マイクロメートルの長時間作動距離レンズを使用し、鋭角と滑らかな表面のパターンを生成することができます。最大解像度1024 x 1024ピクセルの高出力CCDカメラを使用しています。iZ+は深部サブミクロンパターンの生成も可能です。特殊な高度な光電子シャッターシステム（AOSS）は、最小線幅/空間幅0。30マイクロメートルのパターンを生成することができ、3D半導体デバイスに優れたパターニングを提供します。パターンデジタルに加えて、18入力ピンセンスドライバステーションがあり、複雑な製造プロセスのIPブロック相互接続信号を制御するために使用できます。また、iZ+は自動測定システムを備えており、ステッパーはサブミクロンテープの配置を測定し、すべてのパターンが適切に形成されていることを確認することができます。必要なすべてのアライメントデータは、システムによって常に監視され、リアルタイムのフィードバックのためにメインコントロールユニットに通信されます。CANON FPA-5500IZ+は、半導体製造のための高速で信頼性の高い高精度ツールを提供します。ステッパーは操作も簡単で、キヤノンの堅牢なカスタマーサービスによってバックアップされています。iZ+は、信頼性の高い包括的なサポートにより、あらゆる半導体製造オペレーションに長期的な生産性を提供できます。