中古 CANON FPA 5500 iZ+ #9251792 を販売中

CANON FPA 5500 iZ+は、高精度で費用対効果の高いフォトマスク製造用に設計された半自動フォトリソグラフィックウェハステッパー装置です。このシステムは、比較的簡単かつ迅速にフォトマスクパターンを生成するために必要な柔軟性と精度を提供します。このユニットは非常に強力なステッピングエンジンを備えており、高速、高精度、および最小のパターン歪みを提供します。ステッピングエンジンは高速で正確にアライメントされた光学ヘッドと組み合わされ、非常に高い解像度で効率的にマスクをスキャンします。最大5個のレチクルを使用できるため、ステッパーが重複するパターンを処理するため、時間とコストを節約でき、複数のタスクに最適です。このマシンは、VLSIとCMPの両方の処理に適した高度なアライメントツールとダイアライメント機能を備えています。高精度なアライメントにより、セットアップ時間を最小限に抑え、1つのウェハに複数のマスクを簡単に登録できます。複数の基板およびレチクルサイズをサポートすることができるため、さまざまなサイズのパターンを扱うお客様に最適です。CANON FPA-5500IZ+は、インクジェット液滴検査モデルを搭載しています。この装置は、マスク表面の欠陥を検出し、欠陥パターンを迅速に特定し、データを操作したり、現在のパターンを再配置したり、欠陥サーフェスを破棄するなどの是正措置を講じることができます。統合されたフォトマスク生産環境は、フォトマスクパターンの設定と管理に不可欠な機能を提供します。このシステムは、パラメータ設定プロセスを簡素化し、効率を高め、コストを削減するのに役立ちます。さらに、マスク生産ツールは、効率と精度を向上させるために、関連するすべてのデータと履歴を管理します。最適な性能を確保するために、FPA 5500 IZ++はクローズドループ制御ユニットを備えています。基板温度とフォトマスク段をモニターし、高い性能を発揮します。統合された温度制御ツールは、アセットの稼働時間に関係なく、正確な結果を得るための均一な基板温度を保証します。全体として、FPA 5500 iZ+は、高精度で費用対効果の高いフォトマスク生産用に設計された、高度でありながらユーザーフレンドリーなウェーハステッピングモデルです。精度を向上させ、コスト、光放射試験、強力なリアルタイム基板処理機能を削減するために設計された統合機能を備えたこの装置は、フォトマスク業界のお客様に最適です。