中古 CANON FPA 5500 iZ #9251789 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、キヤノンが開発・製造した半導体ウェーハの正確なパターニングと量産用に設計された液浸リソグラフィ装置です。CANON FPA 5500IZは、高出力のUV光源、高度な光学系、特殊な化学薬品、スキャンメカニクスを駆使してウェーハ上にパターンを露出させ、複雑で正確な回路パターンを作成する液浸リソグラフィ装置です。FPA-5500 IZには、高度なバイナリイルミネーション機能パッケージが搭載されており、高い反復と精度で迅速かつ正確なパターニングを可能にします。この高度なパッケージには、解像度の特性をさらに最適化するために数値開口とスポットサイズを調整するVariable Numerical Aperture （VNA）モードと、従来のバイナリ照明システムと比較して露光時間を半減するMSS （Mask Shift Scan）が含まれています。CANON FPA-5500 IZの光学的構成は、共用光源、イメージングレンズ、ミラー、フォーカスレンズ、4シャッターライトコントローラで構成され、合計10の光学素子を備えた全反射構造で構成されています。内蔵された光学素子は、システムの解像度を32nmのハーフピッチに高めます。FPA 5500IZは、CANON独自のCASS （Coarse Alignment and Stabilization Unit）を搭載しており、ウェーハ面の露出光を積極的に安定させ、サブミクロンレベルのアライメント機能と位置制御を向上させるCACC （Coarse Alignment and Recortion Machine）を搭載しています。これらの両方の機能は、最適かつ一貫した結果を作成するために協力します。FPA 5500 iZは、回転運動や各種スキャン速度を制御できる高性能ウェハステージで設計されています。エッジ露出ツールは正確なパターニング要件を満たしており、ウエハローディング機構は脆弱なウエハを処理するために最適化されています。CANON FPA 5500 iZは、化学物質の配送資産を利用して、再現可能な液浸リソグラフィのためのプロセス化学物質の均一な拡散を保証します。CANON FPA 5500IZは、最大200mmのウエハーのパターニングと、最大32nmのハーフピッチの精度で、加速10Gと最大スループット406wphのパターニングが可能です。また、フットプリントが小さく、環境にやさしい構造と最小限の電力封じ込めで設計されています。これにより、マルチテクノロジーのプロセス開発や大量生産アプリケーションに最適です。FPA-5500 IZは、高精度で効率的なパターニング機能を実現する機能を備えた高度で汎用性の高いリソグラフィーモデルです。