中古 CANON FPA 5500 iZ+ #9247812 を販売中

CANON FPA 5500 iZ+ウェハステッパーは、高度な半導体リソグラフィを使用し、高スループット、高解像度イメージングを実現します。多波長ビジョンにより、複数のレイヤーを生成する際に、機器は複雑なアライメントとオーバーレイスキャンを実行できます。さらに、iZ+は、パターン補正と広いダイナミックレンジを可能にする高度な光学サブシステムの配列を備えています。その深い紫外線（DUV）スキャナは0。18ミクロンの特徴を解決することができます。CANON FPA-5500IZ+は、高精度、高スループット製造のために設計された自動フォーカシングマシンを備えた位置測定システムレーザー投影ユニット（LP）です。DUVレーザー用の直径9インチの5ピースレンズを搭載し、高画像分解能と150mmの視野（FOV）に到達することができます。LPは、広い視野で測定することができ、デバイスウェーハの製造および検査のための精密かつ再現性の高いアライメント精度で使用することができます。FPA 5500 IZ++ウェハステッパーは、高精度イメージングのための多数の機能を備えています。クリアイメージング用のクロマチックアベレーションコレクタ（CAC）と、CACの位置ドリフトを補正するピエゾ駆動スキャンアセットを備えています。さらに、複数波長の光フィルタを使用すると、パターン間の微妙な違いを検出できます。さらに、歪みを防ぐために、線形パターン認識モデルを使用すると、正確なアライメントが可能になります。ノイズを低減し、パターン認識精度を向上させる内部信号処理も装備しています。DUVレーザーのビーム分割装置を使用して、FPA-5500IZ+はまた、異なるリソグラフィ層を急速に切り替えることができます。これにより、ダウンタイムを最小限に抑えながら、迅速な処理時間と高スループットを実現します。さらに、360度スピナータレットは、複数の位置のスループットを向上させます。これにより、オーバーレイ位置をすばやく切り替えることができ、より正確な配置が可能になります。CANON FPA 5500 IZ++は、オートモザイク機能を内蔵し、多層高品質のデバイスを製造することができます。この機能は、ウェーハの手動再配置を必要とせずに、基板をカバーする画像のモザイクを作成します。さらに、並列露光のために最大6倍のレチクルを処理することができ、単一のジョブで最大8倍の露出をイメージすることができます。全体として、FPA 5500 iZ+ウェーハステッパーは信頼性と柔軟性に優れたユニットであり、複雑な多層デバイスの高スループットと出力に、歪みを最小限に抑えた高精度イメージングを提供します。幅広い機能を備えており、デバイスを迅速かつ正確に製造するための理想的な選択肢です。