中古 CANON FPA 5500 iZ #9247811 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、半導体部品の製造に最適なウェハステッパーです。PGCT （Precision Gap Control Technology）は、精度、速度、スループットを向上させるとともに、最高品質のウェーハを生産する能力を維持するように設計されています。このマシンは、正と負の両方のトーン抵抗をパターン化するための0。1 µmまでの解像度でステッパー操作が可能です。さらに、このマシンは1000ウェーハ/時の高出力を備えており、商業生産に適しています。ステッパーは、ウェーハの滑らかで正確な処理のための統合されたインチワームモーターを備えた4次元ステージで構築されています。これにより、アライメント機器の位置決め精度を向上させ、多数のウェハにわたって一貫したパフォーマンスを保証します。さらに、ウェーハテーブルには、ウェーハレベルの均質性を確保するために、温度制御システムと温度監視ユニットが装備されています。このマシンは、最大5KWの露光速度を持つ2.9mJ/cm2超高圧水銀ランプを使用しています。これにより、0。3 μ mから10 μ mまでのパターニング分解能が可能になり、コンフォーマルレンズ技術により複雑なディテールを実現し、浅い層のエッチングを改善しました。CANON FPA 5500IZは、自動スペーサ損失検出機能も備えており、1サイクルでのスペーサ損失故障の自動検出が可能です。これにより、信頼性が大幅に向上し、人間の監督によるエラーの可能性が低下します。このツールは、正確な位置決めと高い再現性の厳しい要件を満たすように特別に設計された高解像度のクロスステージXYを備えています。統合リングエンコーダ、絶対クロマチック測定、角度運動抑制設計を搭載し、ウェーハステム位置決めの精度を最高に高めています。FPA-5500 IZは、均一な露出設定を迅速に設定するための自動ゾーン設定機能も備えています。これは、セットアップ処理を簡素化し、複雑なパターンやデザインが混在しているウェーハを素早く露出できる有利な機能です。FPA 5500 iZは、CANONサービスネットワークを通じた優れたアフターサービスにも裏打ちされています。これには、オンライン管理資産、有資格者からの技術およびエンジニアリングサポート、および遠隔トラブルシューティングなどのさまざまなオプションが含まれます。結論として、FPA 5500IZは優れた性能と信頼性を提供する高度なウェーハステッピングモデルです。高速かつ高精度で、半導体産業における高精度で複雑なパターンの製造に適しています。